haku: @keyword getterointi / yhteensä: 6
viite: 4 / 6
| Tekijä: | Haarahiltunen, Antti |
| Työn nimi: | Sisäisen getteroinnin karakterisointi piissä elektronisuihkun indusoiman virran avulla |
| Characterization of internal gettering in silicon by Electron Beam Induced Current | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 2002 |
| Sivut: | ix + 56 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
| Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
| Valvoja: | Sinkkonen, Juha |
| Ohjaaja: | Väinölä, Hele |
| OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
| Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
| Avainsanat: | gettering denuded zone (DZ) EBIC diffusion length getterointi virheetön vyöhyke EBIC diffuusiopituus |
| ED: | 2002-07-08 |
INSSI tietueen numero: 18820
+ lisää koriin
INSSI