haku: @supervisor Lehto, Ari / yhteensä: 9
hakutulos-lista
viite: 4 / 9
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Koskipirtti, Kimmo
Työn nimi:Platinavastuksen passivointi
Passivation of a platinum resistor
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2006
Sivut:x + 103      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaalitekniikan osasto
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Lehto, Ari
Ohjaaja:Stormbom, Lars ; Torri, Pauli ; Salo, Tomi
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Tiivistelmä (fin): Diplomityössä tutkittiin passivointiratkaisuja Vaisalan Drycap 180D -kastepisteanturin platinavastukselle.
Passivoinnin ohella selvitettiin eri ohutkalvojen kykyä planarisoida kastepisteanturin rakennetta.
Platinavastuksen tehtävänä kastepisteanturissa on mitata lämpötilaa ja lämmittää anturia.

Teoriaosuudessa käsiteltiin platinavastuksen suojauksen syitä ja menetelmiä.
Tärkeimmiksi syiksi osoittautuivat anturin haastavat käyttöolosuhteet ja platinan katalyyttinen aktiivisuus.
Kirjallisuusselvityksen perusteella PECVD:Ilä kasvatetut piidioksidi ja piinitridi sekä orgaaniset SOG:it (Spin-on Glass) todettiin lupaaviksi materiaaleiksi asetettujen tavoitteiden kannalta.
Vastuksen suojakalvoina testattiin neljää erilaista orgaanista SOG:ia.
SOG:ien kanssa käytettiin PECVD-piidioksidia kolmikerrosrakenteena, koska SOG:ien adheesio platinaan oli riittämätön.
Toisaalta suojakerroksen paksuutta haluttiin kasvattaa.
Suojakalvoksi kokeiltiin myös polyimidiä (PI-2545) materiaalin hyväksi arvellun planarisointikyvyn takia.
Tutkittujen materiaalien ominaisuuksia ja valmistusmenetelmiä esiteltiin teoriaosuudessa.

Suojakalvojen kestävyyttä ja vaikutusta platinavastuksen suorituskykyyn testattiin erilaisilla kiihdytetyillä ympäristöaltistuksilla.
Vastusarvojen lämpötilariippuvuuden vesihaudemittaus osoitti kaikkien kalvotyyppien vaikuttavan vastuksen lämpötilakertoimeen (TCR).
PI-2545-kalvo vaurioitui 85/85-testissä.
Muut kalvot selvisivät altistuksista ilman näkyviä muutoksia.
Altistusten huomattiin muuttavan platinavastuksen suorituskykyä.
Vuotovirtoja mitattiin korkeissa kosteuksissa.
Virtojen suuruuksissa ei kuitenkaan havaittu selkeitä eroja pinnoitettujen ja pinnoittamattomien antureiden välillä.

Testien perusteella valittiin Filmtronicsin SOG (550F) sekä 400 nm paksuinen PECVD-piidioksidi jatkotutkimuksiin.
Suojakalvot sisällytettiin menestyksekkäästi Drycap 180D:n valmistusprosessiin.
Kalvojen kuvioinnissa käytettiin kahta erilaista ratkaisua, joista toinen tavoitteli pelkkää passivointia ja toinen passivoinnin ohella rakenteen planarisointia.
Kastepisteantureita testattiin DMT142 -kastepistelähettimien kanssa nopeilla suorituskykytesteillä.
Testien perusteella kumpikaan suojakalvoista ei huonontanut merkittävästi kastepisteanturin suorituskykyä.
Sen sijaan 400nm paksun PECVD-piidioksidikalvon havaittiin nopeuttavan anturin kykyä reagoida kosteuden muutoksiin erittäin alhaisissa kaasun suhteellisissa kosteuksissa, jos kalvo oli kuvioitu siten, että kondensaattori valmistettiin aluminasubstraatin päälle.
Suojakalvojen kyky suojata platinavastusta esimerkiksi katalyyttisiltä reaktioilta tai likaantumisen aiheuttamilta vuotovirroilta jäi tulevien pitkäkestoisten altistusten ja mahdollisten käyttökokemusten selvitettäväksi.
Kalvojen planarisointitavoite saavutettiin osittain.
ED:2006-04-11
INSSI tietueen numero: 31513
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI