haku: @instructor Mattila, Toni / yhteensä: 22
viite: 3 / 22
Tekijä:Heikkinen, Joonas
Työn nimi:Mikroelektromekaanisen systeemiteknologian käyttö mikrofonissa ja gyroskoopissa
Julkaisutyyppi:Kandidaatintyö
Julkaisuvuosi:2012
Sivut:33      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkötekniikan korkeakoulu
Koulutusohjelma:Bioinformaatioteknologian koulutusohjelma
Oppiaine:Biotroniikka   (S3037)
Valvoja:Turunen, Markus
Ohjaaja:Mattila, Toni
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201301161153
Sijainti:  
Avainsanat:mikrovalmistus
MEMS
mikroelektromekaaninen systeemi
gyroskooppi
mikrofoni
ED:2013-05-21
INSSI tietueen numero: 46467
+ lisää koriin
INSSI