search query: @keyword paineanturi / total: 8
reference: 8 / 8
« previous | next »
Author:Sivula, Lotta-Riina
Title:Suojauksen vaikutus kapasitiivisen paineanturin suorituskykyyn
Effect of coating on performance of pressure sensor
Publication type:Master's thesis
Publication year:2005
Pages:106      Language:   fin
Department/School:Materiaalitekniikan osasto
Main subject:Elektroniikan valmistustekniikka   (S-113)
Supervisor:Kivilahti, Jorma
Instructor:Syrjänen, Teppo ; Turunen, Markus
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark V80     | Archive
Keywords:MEMS
pressure sensor
MID
polarization
dielectric constant
MEMS
paineanturi
MID
polarisoituminen
dielektrisyysvakio
Abstract (fin): Tämä opinnäytetyö tehtiin osana VTI Technologies Oy:n paineanturikomponentin tuotekehitysprojektia.
Työn tavoitteena oli perehtyä paineanturin toimintaan, MID-tekniikkaan ja dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan sekä määrittää uuteen paineanturikomponenttiin sopiva suojaus.
Suojamateriaalin vaatimuksina ovat tuotannollisuus ja mekaaninen soveltuvuus komponenttiin, johon ei asenneta erillistä kantta.
Kotelointikokonaisuuden on taattava riittävän hyvä suorituskyky paineanturille.

Työn kirjallisuusosassa käsitellään kapasitiivisen paineanturin toimintaa ja MID-tekniikkaa.
Kirjallisuusosiossa perehdytään myös materiaalien polarisoitumiseen ja niiden dielektrisyysvakion käyttäytymiseen erilaisissa olosuhteissa.

Keskeisenä asiana kokeellisessa osiossa on ominaisuuksiltaan erilaisten suojamateriaalien soveltuvuuden testaaminen paineanturin suojaukseen.
Suoritetun koesarjan tuloksien perusteella pyrittiin löytämään paineanturin suorituskykyyn vaikuttavia suojaustekijöitä.
Kokeilla pyrittiin selvittämään myös suojamateriaalin aiheuttamia hajakapasitansseja paineanturielementin ympärillä.

Työstä saadut tulokset osoittavat suojamateriaalin kovuudella olevan vaikutusta paineanturin suorituskykyyn.
Paineanturielementin paineherkän kalvorakenteen ympärillä oleva suojamateriaali heikentää mekaanisten rasitusten vuoksi anturin suorituskykyä.
Kirjallisuusosan dielektrisyysvakion teoreettiseen taustaan perehtyminen antaa hyvän pohjan anturielementin pinnalle muodostuvien hajakapasitanssien lisätutkimuksille sekä suojamateriaalien polarisoitumisen perusteellisimmille tutkimuksille.
ED:2006-04-10
INSSI record number: 31500
+ add basket
« previous | next »
INSSI