search query: @keyword uncertainty analysis / total: 9
reference: 6 / 9
Author: | Iho, Aarni |
Title: | Laser diffractometer for grating pitch characterization with picometer-level uncertainty |
Laserdiffraktometri periodisten diffraktiohilojen karakterisointiin pikometriluokan epävarmuudella | |
Publication type: | Master's thesis |
Publication year: | 2007 |
Pages: | 63 Language: eng |
Department/School: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Main subject: | Mittaustekniikka (S-108) |
Supervisor: | Ikonen, Erkki |
Instructor: | Lassila, Antti |
OEVS: | Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning CentreIn the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network. The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/ You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.
Logging on to the customer computers
Opening a thesis
Reading the thesis
Printing the thesis
|
Location: | P1 Ark S80 | Archive |
Keywords: | laser diffractometer nanometrology diffraction gratigns uncertainty analysis laserdiffraktometri nanometrologia diffraktio diffraktiohila epävarmuusanalyysi |
Abstract (fin): | Työssä suunniteltiin ja rakennettiin laserdiffraktometri, jolla voidaan mitata periodisten diffraktiohilojen keskimääräinen hilaperiodi hyvin suurella tarkkuudella. Pienimpien laitteistolla mitattavien hilojen periodi voi olla noin 250 nm ja suurimpien 10000 nm. Diffraktiohiloja, joiden periodi tunnetaan hyvin suurella tarkkuudella, voidaan käyttää esim. atomivoimamikroskooppien koordinaatistojen kalibrointiin. Motivaatio työlle löytyy viimeaikojen edistysaskelista nanoteknologian alueella: jotta voitaisiin käynnistää tulossa olevien teknologioiden tuotanto teollisuudessa. tarvitaan dimensionaalisia metrologialaitteita ja työkaluja, joilla voidaan tehdä luotettavia mittauksia nanometritasolla. Laserdiffraktometrin suunnittelu ja rakentaminen esitetään työssä perusteellisesti. Myös testimittauksien tulokset ja niiden epävarmuusanalyysi käydään työssä läpi. Työssä esitetään kattava käsittely valon dilfraktiolle periodisesta rakenteesta. Myös geometristen asemointivirheiden vaikutus diffraktiokulmille analysoidaan työssä. Rakennetun laitteiston suorituskyky oli erinomainen. sillä hilamittausten suhteelliseksi epävarmuudeksi saatiin luokkaa 10-6 oleva taso. |
ED: | 2008-01-14 |
INSSI record number: 35066
+ add basket
INSSI