search query: @keyword uncertainty analysis / total: 9
reference: 6 / 9
« previous | next »
Author:Iho, Aarni
Title:Laser diffractometer for grating pitch characterization with picometer-level uncertainty
Laserdiffraktometri periodisten diffraktiohilojen karakterisointiin pikometriluokan epävarmuudella
Publication type:Master's thesis
Publication year:2007
Pages:63      Language:   eng
Department/School:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Main subject:Mittaustekniikka   (S-108)
Supervisor:Ikonen, Erkki
Instructor:Lassila, Antti
OEVS:
Electronic archive copy is available via Aalto Thesis Database.
Instructions

Reading digital theses in the closed network of the Aalto University Harald Herlin Learning Centre

In the closed network of Learning Centre you can read digital and digitized theses not available in the open network.

The Learning Centre contact details and opening hours: https://learningcentre.aalto.fi/en/harald-herlin-learning-centre/

You can read theses on the Learning Centre customer computers, which are available on all floors.

Logging on to the customer computers

  • Aalto University staff members log on to the customer computer using the Aalto username and password.
  • Other customers log on using a shared username and password.

Opening a thesis

  • On the desktop of the customer computers, you will find an icon titled:

    Aalto Thesis Database

  • Click on the icon to search for and open the thesis you are looking for from Aaltodoc database. You can find the thesis file by clicking the link on the OEV or OEVS field.

Reading the thesis

  • You can either print the thesis or read it on the customer computer screen.
  • You cannot save the thesis file on a flash drive or email it.
  • You cannot copy text or images from the file.
  • You cannot edit the file.

Printing the thesis

  • You can print the thesis for your personal study or research use.
  • Aalto University students and staff members may print black-and-white prints on the PrintingPoint devices when using the computer with personal Aalto username and password. Color printing is possible using the printer u90203-psc3, which is located near the customer service. Color printing is subject to a charge to Aalto University students and staff members.
  • Other customers can use the printer u90203-psc3. All printing is subject to a charge to non-University members.
Location:P1 Ark S80     | Archive
Keywords:laser diffractometer
nanometrology
diffraction
gratigns
uncertainty analysis
laserdiffraktometri
nanometrologia
diffraktio
diffraktiohila
epävarmuusanalyysi
Abstract (fin):Työssä suunniteltiin ja rakennettiin laserdiffraktometri, jolla voidaan mitata periodisten diffraktiohilojen keskimääräinen hilaperiodi hyvin suurella tarkkuudella.
Pienimpien laitteistolla mitattavien hilojen periodi voi olla noin 250 nm ja suurimpien 10000 nm.
Diffraktiohiloja, joiden periodi tunnetaan hyvin suurella tarkkuudella, voidaan käyttää esim. atomivoimamikroskooppien koordinaatistojen kalibrointiin.
Motivaatio työlle löytyy viimeaikojen edistysaskelista nanoteknologian alueella: jotta voitaisiin käynnistää tulossa olevien teknologioiden tuotanto teollisuudessa. tarvitaan dimensionaalisia metrologialaitteita ja työkaluja, joilla voidaan tehdä luotettavia mittauksia nanometritasolla.

Laserdiffraktometrin suunnittelu ja rakentaminen esitetään työssä perusteellisesti.
Myös testimittauksien tulokset ja niiden epävarmuusanalyysi käydään työssä läpi.
Työssä esitetään kattava käsittely valon dilfraktiolle periodisesta rakenteesta.
Myös geometristen asemointivirheiden vaikutus diffraktiokulmille analysoidaan työssä.
Rakennetun laitteiston suorituskyky oli erinomainen. sillä hilamittausten suhteelliseksi epävarmuudeksi saatiin luokkaa 10-6 oleva taso.
ED:2008-01-14
INSSI record number: 35066
+ add basket
« previous | next »
INSSI