search query: @keyword typpi / total: 15
reference: 7 / 15
Author: | Väkevä, Minna |
Title: | Uudet typpeä sisältävät lähdeaineet ohutkalvojen atomikerroskasvatuksessa |
Publication type: | Bachelor's thesis |
Publication year: | 2008 |
Pages: | 16 Language: fin |
Department/School: | Kemian ja materiaalitieteiden tiedekunta |
Degree programme: | Kemian tekniikan tutkinto-ohjelma |
Main subject: | Kemia (KE3001) |
Supervisor: | Nordström, Katrina |
Instructor: | Myllymäki, Pia |
Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201303141731 |
Location: | |
Keywords: | ALD typpi lähdeaine |
ED: | 2008-08-27 |
INSSI record number: 36167
+ add basket
INSSI