search query: @keyword plasma / total: 25
reference: 3 / 25
| Author: | Martins Lopes, Vanessa |
| Title: | Jalometallien atomikerroskasvatus (ALD) |
| Publication type: | Bachelor's thesis |
| Publication year: | 2014 |
| Pages: | 36 Language: fin |
| Department/School: | Kemian tekniikan korkeakoulu |
| Degree programme: | Materiaalitekniikan koulutusohjelma |
| Main subject: | Materiaalien prosessointi (MT3002) |
| Supervisor: | Forsén, Olof |
| Instructor: | Franssila, Sami |
| Electronic version URL: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201507083794 |
| Location: | |
| Keywords: | atomikerroskasvatus ALD-menetelmä ohutkalvo plasma ydintyminen jalometalli |
| ED: | 2015-08-16 |
INSSI record number: 51732
+ add basket
INSSI