haku: @keyword metal organic vapour phase epitaxy / yhteensä: 1
viitteet: 1-1 / 1
« edellinen sivu | seuraava sivu »
 otsikkovuositekijä
1.
Vertical Piezoelectric Structures for in-plane Actuation in MEMS Sensors
 2015 Österlund, Elmeri
« edellinen sivu | seuraava sivu »
INSSI