haku: @keyword grafiikka / yhteensä: 10
viite: 8 / 10
| Tekijä: | Karilahti, Mika |
| Työn nimi: | Software Module for Laser Lithography |
| Programmodul för en laser-baserad maskexponerande maskin | |
| Laseriin perustuvan maskinvalotuslaitteen ohjelmamoduli | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 1993 |
| Sivut: | 95 Kieli: eng |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan osasto |
| Oppiaine: | Fysiikka (Tfy-3) |
| Valvoja: | Tuomi, Turkka |
| Ohjaaja: | Laiholuoto, Kari |
| Digitoitu julkaisu: | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/81847 |
| OEVS: | Digitoitu arkistokappale on julkaistu Aaltodocissa
|
| Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
| Avainsanat: | interpreter computer graphics mask / reticle laser litography tulkki tietokone grafiikka maski laser litografia told dator grafik mask laser litografi |
| ED: | 1994-04-29 |
INSSI tietueen numero: 8664
+ lisää koriin
INSSI