haku: @keyword resonator / yhteensä: 17
hakutulos-lista
viite: 17 / 17
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Seppälä, Pekka
Työn nimi:Mikromekaanisen resonaattorin karakterisointi
Characterization of Micromechanical Resonator
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:1999
Sivut:55      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Oppiaine:Fysiikka   (Tfy-3)
Valvoja:Hautojärvi, Pekka
Ohjaaja:Lehto, Ari
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TF80     | Arkisto
Avainsanat:micromechanics
resonator
vacuum encapsulation
mikromekaniikka
resonaattori
SOI
tyhjiökotelointi
Tiivistelmä (fin):Mikromekaniikassa tarkastellaan rakenteita, joiden kokoluokka on tyypillisesti 1 mikrometriä -1 mm.
Rakenteiden pienentyessä niiden inertia vähenee ja ne kokevat väliaineen vastuksen voimakkaampana.
Toisaalta rakenteiden keventyessä niiden liikuttelu sähkökentillä helpottuu.

Tässä työssä tutkittiin kapasitiivista palkkirakennetta, jonka ominaistaajuus oli noin 100 kHz.
Rakenteen mekaanista toimintaa tutkittiin tarkastelemalla muutoksia komponentin impedanssissa ja kapasitanssissa.
Palkki oli prosessoitu SOI (silicon-on-insulator) -piikiekon yksikiteiseen pintakerrokseen.

Mikromekaanisen palkin prosessointi oli suoritettu aikaisemmin.
Mittauksia varten palkit koteloitiin.
Mittauksissa käytetty mittauslaitteisto koostui kaupallisesta impedanssianalysaattorista ja tyhjiölaitteistosta, joka rakennettiin tämän työn yhteydessä.
Tyhjiökammio mahdollisti mittaukset painealueella, jossa ilmanvastus ei estänyt palkin resonointia.

Tärkein havainto mittauksissa oli paineen vaikutus mitattavan komponentin toimintaan.
Väliaineen vastus vaimentaa resonaattorin liikettä ja tekee mittaukset normaalissa ilmanpaineessa mahdottomiksi.
Ilmanvastuksen vaikutus hävisi mittauksissa alle 0,1 mbar paineessa.
Resonaattorin sovellutuksissa yleisesti tarvittava jännitteellä tapahtuva taajuudensäätö todennettiin mittauksissa ja lisäksi tutkittiin rakenteen stabiilisuutta palkin yli olevaa jännitettä kasvatettaessa.

Suoritettujen mittausten perusteella todettiin komponentin tyhjiökotelointi välttämättömäksi.
Samoin havaittiin resonaattorin ajamisen liian suurilla amplitudeilla heikentävän resonaattorin suorituskykyä.
ED:1999-07-20
INSSI tietueen numero: 14589
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI