haku: @keyword kohina / yhteensä: 29
viite: 15 / 29
Tekijä: | Klemetti, Petri |
Työn nimi: | Kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuus ja kohina |
Temperature dependence and noise of angular rate sensor element | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2004 |
Sivut: | 80 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Mittaustekniikka (S-108) |
Valvoja: | Tittonen, Ilkka |
Ohjaaja: | Blomqvist, Anssi |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | angular rate sensor noise temperature dependence MEMS kulmanopeusanturi kohina lämpötilariippuvuus MEMS |
Tiivistelmä (fin): | Tässä. diplomityössä. tutkitaan kulmanopeusanturielementin lämpötilariippuvuuksia ja niiden vaikutusta anturin suorituskykyyn, kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman kokonaisuuden kohinaa sekä anturielementin epälineaarisuuksia. Tuloksia verrataan autoteollisuuden asettamiin vaatimuksiin. Kulmanopeusanturi vaatii toimiakseen elementin lisäksi elektroniikkaa. Tässä työssä rajoitutaan tutkimaan erillisiä resonaattoreita, joista anturielementti muodostuu ja arvioimaan lopullisten vaatimusten täyttymistä näiden tulosten pohjalta. Kulmanopeusanturin lämpötilariippuvuudet on jaettu kahteen osaan: mekaanisiin ja sähköisiin ilmiöihin. Mekaaniset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat piin mekaanisten ominaisuuksien muutoksista lämpötilan funktiona, anturirakenteen mekaanisesta taipumisesta ja anturin sisällä olevan paineen muutoksista. Tässä työssä tutkittavat sähköiset lämpötilariippuvuudet aiheutuvat anturin sisällä olevien elektrodien pintajännitteen muutoksista. Sähköisistä ilmiöistä tutkitaan lisäksi resonaattoreihin aiheutuvia sähköisiä häviöitä. Kulmanopeusanturielementin ja esivahvistimen muodostaman systeemin kohina asettaa maksimiarvon anturin suorituskyvylle. Mikromekaanisten anturirakenteiden kohinaa on tutkittu kirjallisuudessa laajasti. Tässä työssä on pyritty selvittämään merkittävimmät kohinalähteet tutkittavalle anturirakenteelle. Työn teoriaosassa käydään läpi anturin toiminnan perusfysiikkaa ja toimintaa kuvaavien parametrien analyyttinen tarkastelu kirjallisuudesta löytyvien tulosten pohjalta. Laskettuja tuloksia verrataan vastaaville rakenteille mitattuihin tuloksiin. Kokeellisessa osiossa anturielementin ominaisuuksia on mitattu lämpötila-alueella -30 'C ... + 85 ·C. Kohinaa ja epälineaarisuuksia on mitattu huoneenlämmössä. Työn tuloksena anturielementin ominaisuuksien lämpötilariippuvuusmekanismit on selvitetty ja riippuvuuksien suuruudet mitattu. Mittauksista saatujen tulosten perusteella anturielementistä voi rakentaa anturin, joka täyttää asetetut vaatimukset niin kohinan kuin lämpötilariippuvuuksien osalta. |
ED: | 2004-02-02 |
INSSI tietueen numero: 21142
+ lisää koriin
INSSI