haku: @keyword kohina / yhteensä: 29
viite: 14 / 29
| Tekijä: | Saukoski, Mikko |
| Työn nimi: | Integroidun varausvahvistimen suunnittelu mikromekaanisen kapasitiivisen anturin lukemiseen |
| Integrated charge sensitive amplifier design for deadout of a micromechanical capacitive sensor | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 2004 |
| Sivut: | 91 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
| Oppiaine: | Piiritekniikka (S-87) |
| Valvoja: | Halonen, Kari |
| Ohjaaja: | Salo, Teemu |
| Digitoitu julkaisu: | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/91430 |
| OEVS: | Digitoitu arkistokappale on julkaistu Aaltodocissa
|
| Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
| Avainsanat: | integrated circuits charge sensitive amplifier micromechanical capacitive sensor noise noise capacitance integroidut piirit varausvahvistin mikromekaaninen kapasitiivinen anturi kohina kohinakapasitanssi |
| Tiivistelmä (fin): | Diplomityössä on tutkittu integroidun varausvahvistimen suunnittelua mikromekaanisen kapasitiivisen anturin lukemiseen. Työn alussa esitellään kapasitiivisiin antureihin liittyvät peruskäsitteet. Tämän jälkeen perehdytään varausvahvistimen toimintaan, aluksi itsenäisenä piirilohkona, sen jälkeen kapasitiivisen anturin yhteydessä. Seuraavaksi työssä tutkitaan kapasitiivisen anturin ja varausvahvistimen muodostaman systeemin tuottamaa kohinaa. Signaali-kohina-suhteen laskemiseksi eri kohinalähteiden tuottaman kohinan suuruus esitetään varausvahvistimen tuloon redusoituna kohinakapasitanssina. Samalla etsitään keinoja eri kohinalähteiden aiheuttaman kohinakapasitanssin minimoimiseksi ja tutkitaan epäideaalisuuksien vaikutusta pienimpään saavutettavissa olevaan kohinatasoon. Tämän jälkeen esitellään varausvahvistimen toteuttamisessa tarvittavat piirilohkot, operaatiovahvistin, takaisinkytkentävastukset ja takaisinkytkentäkondensaattorit, sekä niiden mahdollisia integroituja toteuttamistapoja. Lohkojen esittelyssä kiinnitetään huomiota varausvahvistimen suunnittelussa vaadittaviin erityispiirteisiin. Työssä toteutettiin integroitu varausvahvistin 0,7 µm:n kahden metalli-ja kahden polypiikerroksen CMOS-puolijohdeprosessilla. Varausvahvistimella saavutettiin mittausten mukaan 2,85 aF:n herkkyys, kun sitä käytetään suunnittelumääritysten mukaisen anturin lukemiseen. Toteutetusta varausvahvistimesta saadut mittaustulokset tukevat työssä esitetyn teorian paikkansapitävyyttä. |
| ED: | 2004-02-02 |
INSSI tietueen numero: 21148
+ lisää koriin
INSSI