haku: @keyword aluminum oxide / yhteensä: 6
hakutulos-lista
viite: 2 / 6
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Lapinsuo, Sakari
Työn nimi:Thin film coatings by atomic layer deposition for improvement of the flexural strength of glass
Atomikerroskasvatuksella valmistettujen ohutkalvopinnoitteiden käyttö lasin taivutuslujuuden parantamisessa
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2013
Sivut:vii + 62      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Mikro- ja nanotekniikan laitos
Oppiaine:Mikro- ja nanotekniikka   (S3010)
Valvoja:Tittonen, Ilkka
Ohjaaja:Jylhä, Olli
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201307137203
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark Aalto  959   | Arkisto
Avainsanat:ALD
atomic layer deposition
glass
strengthening
reinforcement
aluminum oxide
Al2O3
ball-on-ring
BOR
4PB
bending test
flexural strength
lasi
vahvistaminen
alumiinioksidi
taivutustesti
taivutuslujuus
Tiivistelmä (fin):Tämä työ käsittelee Beneq Oy:n Espoon puhdastiloissa tehtyä tutkimusta lasin vahvistamisesta atomikerroskasvatusmenetelmällä.
Ohutkalvojen kasvatuksen optimointia edelsi selvitys parhaista toimintatavoista lasin lujuuden testaamisessa, johon liittyy mm. lasin leikkaaminen, peseminen, laminointi, ja taivutuslujuuden selvittäminen (ml. luotettavuusanalyysi).
Erityyppisten lasikappaleiden pinnoille kasvatettiin pääasiassa trimetyylialumiinista (TMA) ja vedestä tehtyä alumiinioksidia (Al2O3).
Ohutkalvojen paksuuden (5-100nm) sekä niiden kasvatusprosessilämpötilan (100-475°C) vaikutusta lasin lujuuteen tutkittiin standardoiduilla taivutuskokeilla.
Kalvojen paksuudet ja niiden konformaalisuus mitattiin ellipsometrilla.
Tutkimuksen tulokset osoittivat, että atomikerros kasvatusta voidaan käyttää lasin vahvistuksessa teollisessakin mittakaavassa mm. sen luotettavuuden, toistettavuuden, ja ohutkalvon konformaalisuuden ansiosta.
Vahvistuksen määrä riippuu pitkälti lasityypistä ja lasin esikäsittelystä.
Kemiallisesti vahvistettua lasia saatiin vahvistettua vain jonkin verran, mutta sen sijaan kemiallisesti vahvistamaton lasi vahvistui entisestään suurimmassa osassa tapauksia vähintäänkin merkittävästi, riippuen testausmenetelmästä, lasityypistä, ja vertailumittarista.
Tiivistelmä (eng):This work is a study of glass strengthening by atomic layer deposition (ALD) conducted at the cleanroom facilities of Beneq Oy in Espoo, Finland.
Optimization of ALD process parameters was preceded by an investigation of best practices for testing glass, including but not limited to cutting, washing, lamination, and exural testing (including reliability analysis) of glass.
Glass substrates were encapsulated primarily with Al2O3 lms using trimethylaluminum (TMA) and H2O as precursors.
The e ect of lm thickness (between 5-100nm) and reaction temperature (100-475°C) on glass strength was studied by standardized bending tests.
Film thickness and uniformity were veri ed by ellipsometry.
The results indicated that atomic layer deposition, partly due to its reliability, repeatability, and layer thickness conformity even in large batches can be used to strengthen glass for industrial scale applications.
The amount of improvement in strength is largely dependent on the type of glass and its pre-ALD treatment.
While little improvement was achieved with chemically strengthened glass, glass without chemical strengthening showed in most cases very good or at least signi cant improvement depending on the applied test method, type of glass and the meter used for comparison.
ED:2013-12-02
INSSI tietueen numero: 48050
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI