haku: @keyword alumiininitridi / yhteensä: 5
hakutulos-lista
viite: 5 / 5
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Puurunen, Riikka
Työn nimi:Alumiininitridin valmistus huokoiselle silikalle atomikerrosepitaksialla
Processing of aluminium nitride on porous silica by atomic layer epitaxy
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:1998
Sivut:109      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Kemian tekniikan osasto
Oppiaine:Teknillinen kemia   (Kem-40)
Valvoja:Krause, Outi
Ohjaaja:Haukka, Suvi ; Iiskola, Eero
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TKK  4148   | Arkisto
Avainsanat:alumiininitridi
trimetyylialumiini
ammoniakki
ALE
kasvatus
FTIR
Tiivistelmä (fin):Diplomityön kirjallisuusosassa kartoitettiin metallinitridien pääasialliset valmistusmenetelmät ja metallinitridien käyttö katalyysissa.
Kaikki valmistusmenetelmätyypit käsiteltiin, mutta erityisen kiinnostuksen kohteena oli ominaispinta-alaltaan suurten metallinitridien valmistus.
Katalyyttikäytössä huomioitiin myös kaikki vasta tutkimuksen alla olevat sovellukset, koska kaupallisia sovelluksia ei metallinitridikatalyyteilla vielä ole.

Kokeellisessa osassa oli tavoitteena kasvattaa huokoisen silikan pintaan alumiininitridikerros atomikerrosepitaksialla (ALE-menetelmä).
Lähtöaineina käytettiin trimetyylialumiinia ja ammoniakkia, joiden toisistaan huuhtelulla erotettuja, kyllästäviä kaasufaasireaktioita vuoroteltiin kantajan pinnalla.
Trimetyylialumiinin reaktiolämpötilana käytettiin 423 K ja ammoniakin reaktiota tutkittiin eri lämpötiloissa välillä 423-673 K.
Useiden kierrosten kasvatuksessa ammoniakin reaktiolämpötilaksi valittiin 673 K.
Ennen reaktioita silika kuumennettiin ilmassa lämpötilassa 1023 tai 473 K reaktiivisten kohtien tyypin ja lukumäärän säätämiseksi.
Pinnat karakterisoitiin alkuainemääritysten ja inertisti mitattujen FTIR-spektrien perusteella.

Alumiininitridin kasvatus huokoisen silikan pintaan onnistui.
Trimetyylialumiinin reaktioiden aikana alumiinin pintatiheys kasvoi tasaisesti keskimäärin 2,3+-0,3 Al/nm[2].
Typpi-alumiini-suhde oli koko kasvatuksen ajan noin yksi, mikä on alumiininitridin (AIN) stoikiometria.
Hiiltä jäi valmistettuun pintaan epäpuhtautena noin 0,8+-0,2 C/nm[2], vaikka hiilipitoisuutta yritettiin pienentää esikäsittelemällä silika ammoniakilla ennen reaktiota.
Alumiininitridipinta oli erittäin herkkä ilmankosteudelle.
Kuumennus typessä lämpötilassa 873 K paransi pinnan kosteudenkestoa.

Alumiininitridikerroksella päällystetyn silikan pintaan kiinnitettiin kaasufaasireaktiolla koboltti(III)asetyyliasetonaattia.
Ligandit poistettiin vedyllä, minkä jälkeen pinnan katalyyttinen aktiivisuus testattiin alustavasti tolueenin hydrauksessa lämpötiloissa 373+-473 K.
Koboltilla modifioitu pinta oli hydrauksessa katalyyttisesti aktiivinen.
ED:1999-02-02
INSSI tietueen numero: 13846
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI