haku: @keyword sulatus / yhteensä: 5
viite: 5 / 5
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Koikkalainen, Seija |
Työn nimi: | Urasahattujen piikiekkojen lasitusprosessi mikromekaanisten antureiden valmistuksessa |
Glassing process of groove sawed silicon wafers in micromechanical sensor manufacturing | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2001 |
Sivut: | ix + 101 s. + liitt. 9 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Materiaali- ja kalliotekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektroniikan valmistustekniikka (S-113) |
Valvoja: | Kivilahti, Jorma |
Ohjaaja: | Mutikainen, Risto |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark V80 | Arkisto |
Avainsanat: | micromechanical glass vertical glass insulation layer viscosity viscous flow melting silicon-glass seals Sol-Gel mikromekaaninen lasi pystysuora lasieriste viskositeetti viskoosi virtaus sulatus pii-lasi-liitos |
ED: | 2002-07-16 |
INSSI tietueen numero: 18876
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI