haku: @keyword diffraction / yhteensä: 7
hakutulos-lista
viite: 6 / 7
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Iho, Aarni
Työn nimi:Laser diffractometer for grating pitch characterization with picometer-level uncertainty
Laserdiffraktometri periodisten diffraktiohilojen karakterisointiin pikometriluokan epävarmuudella
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2007
Sivut:63      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Mittaustekniikka   (S-108)
Valvoja:Ikonen, Erkki
Ohjaaja:Lassila, Antti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:laser diffractometer
nanometrology
diffraction
gratigns
uncertainty analysis
laserdiffraktometri
nanometrologia
diffraktio
diffraktiohila
epävarmuusanalyysi
Tiivistelmä (fin):Työssä suunniteltiin ja rakennettiin laserdiffraktometri, jolla voidaan mitata periodisten diffraktiohilojen keskimääräinen hilaperiodi hyvin suurella tarkkuudella.
Pienimpien laitteistolla mitattavien hilojen periodi voi olla noin 250 nm ja suurimpien 10000 nm.
Diffraktiohiloja, joiden periodi tunnetaan hyvin suurella tarkkuudella, voidaan käyttää esim. atomivoimamikroskooppien koordinaatistojen kalibrointiin.
Motivaatio työlle löytyy viimeaikojen edistysaskelista nanoteknologian alueella: jotta voitaisiin käynnistää tulossa olevien teknologioiden tuotanto teollisuudessa. tarvitaan dimensionaalisia metrologialaitteita ja työkaluja, joilla voidaan tehdä luotettavia mittauksia nanometritasolla.

Laserdiffraktometrin suunnittelu ja rakentaminen esitetään työssä perusteellisesti.
Myös testimittauksien tulokset ja niiden epävarmuusanalyysi käydään työssä läpi.
Työssä esitetään kattava käsittely valon dilfraktiolle periodisesta rakenteesta.
Myös geometristen asemointivirheiden vaikutus diffraktiokulmille analysoidaan työssä.
Rakennetun laitteiston suorituskyky oli erinomainen. sillä hilamittausten suhteelliseksi epävarmuudeksi saatiin luokkaa 10-6 oleva taso.
ED:2008-01-14
INSSI tietueen numero: 35066
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI