haku: @keyword metrology / yhteensä: 7
viite: 5 / 7
Tekijä:Kaasalainen, Jussi
Työn nimi:Mikromekaanisen kapasitiivisen anturin suorakaideaaltoherätteeseen perustuva tasajännitenormaali ja mittausjärjestelmä
DC voltage standard and measurement system based on square wave escitation of a micromechanical capacitive sensor
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2008
Sivut:(9) + 53      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Sinkkonen, Juha
Ohjaaja:Manninen, Antti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:metrology
voltage standard
MEMS
accelerometer
PI control
metrologia
jännitenormaali
MEMS
kiihtyvyysanturi
PI-säätö






























Tiivistelmä (fin): Jännitemetrologiassa on tarvetta tasajännitenormaalille, jonka tarkkuus ja kohinaominaisuudet ovat paremmat kuin nyt käytössä olevilla korkealuokkaisilla zenerdiodeilla ja valmistus- ja käyttökustannukset toisaalta olennaisesti pienemmät kuin Josephson-liitossarjoihin perustuvilla laitteistoilla, jotka ovat tarkimpia tunnettuja jännitenormaaleita.
Myös kaupallisissa sovelluksissa sekä teollisuuden käyttämissä elektronisissa laitteissa on esiintynyt tarvetta tarkemmille ja edullisille referenssijännitteille.

Mikroelektromekaanisen (MEMS) tasokondensaattorin eräs ominaisuus on se, että sen kapasitanssi riippuu kondensaattorin liikkuvan ja liikkumattoman levyn välisestä jännitteestä.
Näihin MEMS-tasokondensaattorin karakteristisiin ominaisuuksiin perustuvalla jännitenormaalilla on potentiaalisesti mahdollista saavuttaa zenerdiodeita parempi tarkkuus.
Tulevaisuudessa valmiin jännitenormaalilaitteiston käytettävyys ja sovellukseen implementointi ovat yhtä yksinkertaista kuin zenerdiodeilla, laitteiston hinta ja koko ovat kuitenkin todennäköisesti pienemmät.

Tässä työssä tutkittiin MEMS-kondensaattorin suorakaideaaltomuotoiseen vaihtojänniteherätteeseen perustuvan tasajännitenormaalin pitkän aikavälin stabiilisuutta.
Vaihtojännitteen käytöllä pyrittiin estämään MEMS-kondensaattorin rajapinnoissa ja oksidikerroksissa tyypillisesti esiintyvien hitaiden varautumisilmiöiden haitallista vaikutusta.
Teoriaosassa on esitetty olennaisimmat MEMS-kondensaattorin ominaisuudet sekä jännitenormaalin toteuttavan laitteiston toimintaperiaate.

Jännitenormaalin stabiilisuuden tutkimiseksi konstruoitiin takaisinkytkentään ja PI-säätöön perustuva elektroniikka ja tietokoneohjelmisto sekä mittauslaitteisto.
MEMS-kondensaattorina käytettiin tavanomaista kapasitiivista kiihtyvyysanturia.
ED:2008-07-29
INSSI tietueen numero: 35915
+ lisää koriin
INSSI