haku: @keyword resonaattori / yhteensä: 18
viite: 7 / 18
| Tekijä: | Kangas, Lauri K. |
| Työn nimi: | Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2008 |
| Sivut: | 27 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Informaatio- ja luonnontieteiden tiedekunta |
| Koulutusohjelma: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma |
| Oppiaine: | Teknillinen fysiikka (F3005) |
| Valvoja: | Kaivola, Matti |
| Ohjaaja: | Kokkonen, Kimmo |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305165898 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | tyhjiölaitteisto MEMS resonaattori laser interferometri |
| ED: | 2008-08-27 |
INSSI tietueen numero: 36145
+ lisää koriin
INSSI