haku: @instructor Suihkonen, Sami / yhteensä: 8
viite: 6 / 8
Tekijä:Sintonen, Sakari
Työn nimi:Superhilarakenteiden karakterisointi röntgendiffraktio- ja röntgenheijastusmenetelmillä
Characterization of Superlattice Structures by X-Ray Diffraction and X-Ray Reflectivity Measurements
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2009
Sivut:8 + 62      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Oppiaine:Optoelektroniikka   (S-104)
Valvoja:Lipsanen, Harri
Ohjaaja:Suihkonen, Sami
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201203071318
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:X-ray diffraction
X-ray reflectivity
superlattice
XRR
XRD
röntgendiffraktio
röntgenheijastus
superhila
Tiivistelmä (fin): Tässä diplomityössä esiteltiin menetelmä superhilarakenteiden karakterisoimiseksi.
Superhilarakenteiden karakterisointi kattaa sen eri osien hilavakioiden, paksuuksien ja moniyhdisteiden kompositioiden määrittämisen.
Lisäksi on selvitettävä rakenteen jännitystilat.

Superhilojen karakterisointi suoritettiin röntgenheijastus- ja röntgendiffraktiomittausten avulla.
Röntgenheijastusmittaukset mahdollistavat nanometrin luokkaa olevien paksuuksien mittaamisen.
Tässä työssä esitellyssä menetelmässä superhilarakenteiden kerrosten paksuudet mitattiin röntgenheijastusmittausten avulla, jonka jälkeen loput tuntemattomista parametreista määritettiin röntgendiffraktiomittausten perusteella.

Menetelmää sovellettiin näytteisiin joiden kompositiot ja paksuudet määritettiin myös röntgendiffraktiomittauksia simuloimalla.
Menetelmän antamat tulokset vastasivat simuloituja tuloksia erittäin hyvin.
Menetelmä soveltuu kaikkien superhilarakenteiden karakterisointiin, lukuun ottamatta rakenteita joiden pinnat ovat liian karheita ja/tai aaltoilevia sekä rakenteita joiden periodisuus on heikko.

Superhila voidaan myös karakterisoida simuloimalla röntgendiffraktiota.
Simuloinnista saatavien tuloksien ongelmana on, että ne eivät ole yksikäsitteisiä.
Työssä esitellyn menetelmän etuna on, että tulokset ovat yksikäsitteisiä, jolloin simulointia voidaan hyödyntää pelkästään tulosten oikeellisuuden tarkistamiseen.
Tiivistelmä (eng): This thesis presents a method for characterization of superlatticestructures.
The characterization of superlatticestructures involves determining the lattice constants, thicknesses and compositions of the individual layers of the superlattice, as well as measuring the state of strain present in the superlatticestructure.

The method presented in this work combines both X-ray reflectivity (XRR) and X-ray diffraction (XRD) measurements.
XRR measurements enable the determination of small, nanometre-scale layers.
The method is based on determining the individual thicknesses by XRR measurements, after which it is possible to determine the remaining unknown parameters by XRD measurements.

To illustrate the use of the method, it was applied to samples whose thicknesses and compositions were also determined by simulating XRD measurements.
The results of the method and the simulations were in excellent agreement with each other.
The method is suitable for characterization of all superlattice structures excluding structures with weak periodicity and those with rough interfaces.

Superlattices can be characterized solely by simulation of diffraction curves.
Unfortunately, the results obtained by simulation are not unique.
The benefit of the method presented in this thesis is that the results are unique.
Therefore the usage of simulation may be restricted to verifying experimental results.
ED:2009-10-07
INSSI tietueen numero: 38442
+ lisää koriin
INSSI