haku: @supervisor Sopanen, Markku / yhteensä: 17
hakutulos-lista
viite: 10 / 17
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Klonner, Maria
Työn nimi:Stamp Fabrication for ultraviolet Nanoimprint Lithography
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2010
Sivut:[6] + 64      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta
Oppiaine:Optoelektroniikka   (S-104)
Valvoja:Sopanen, Markku
Ohjaaja:Ali, Muhammad
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201203131430
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark Aalto  877   | Arkisto
Avainsanat:UV Nanoimprint Lithography
ALD
stamp fabrication
Tiivistelmä (eng): This thesis investigates the fabrication of stamps for ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL).
UV-NIL is an attractive method for replacing optical lithography as a fabrication method as minimal size of the structures nears 20 nm.

Stamp fabrication methods were analysed, compared, and tried.
Finally, a fabrication process integrating a transparent conductive atomic layer deposition (ALD) layer to dissipate charges during the electron beam lithography (EBL) patterning process was chosen.
The ALD layer was sandwiched between the glass substrate and a pattern layer of silicon dioxide.
Various test patterns, such as dots and lines, were fabricated.
After defining the patterns via EBL, they were transferred to the pattern layer via a plasma etching step.

After pattern fabrication, the patterns were positioned on a mesa via a wet-etching step, producing a pedestal of about 15 µm height.
Following the etching, the stamp was covered with a release layer, and the imprinting process on the NIL-addon of the mask aligner was investigated.
The results were analysed and will be used for further improvement of the process.

Imprinting was successfully demonstrated on several different substrates with different surface roughnesses.
ED:2010-05-05
INSSI tietueen numero: 39551
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI