haku: @instructor Aaltonen, Lasse / yhteensä: 10
viite: 2 / 10
Tekijä:Paavilainen, Asko
Työn nimi:Mikroelektromekaanisen kiihtyvyysanturin suunnittelu
Julkaisutyyppi:Kandidaatintyö
Julkaisuvuosi:2011
Sivut:24      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkötekniikan korkeakoulu
Koulutusohjelma:Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma
Oppiaine:Elektroniikka   (S3027)
Valvoja:Turunen, Markus
Ohjaaja:Aaltonen, Lasse
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305162454
Sijainti:  
Avainsanat:MEMS
SOI
kapasitiivinen
kiihtyvyysanturi
suunnittelu
ED:2011-12-19
INSSI tietueen numero: 43575
+ lisää koriin
INSSI