haku: @instructor Franssila, Sami / yhteensä: 42
viite: 4 / 42
Tekijä:Kettula, Paula
Työn nimi:Contamination control in Aalto Nanofab cleanroom
Julkaisutyyppi:Kandidaatintyö
Julkaisuvuosi:2015
Sivut:24      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Kemian tekniikan korkeakoulu
Koulutusohjelma:Materiaalitekniikan koulutusohjelma
Oppiaine:Materiaalitekniikka   (MT901)
Valvoja:Laaksonen, Päivi
Ohjaaja:Franssila, Sami
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201602031221
Sijainti:  
Avainsanat:cleanroom
nanotechnology
contamination control
ED:2016-02-21
INSSI tietueen numero: 53030
+ lisää koriin
INSSI