Tekijä: | Malm, Jari |
Työn nimi: | Vacuum line chemistry in selected atomic layer deposition processes |
Pumppauslinjan kemia eräissä atomikerroskasvatusprosesseissa | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2005 |
Sivut: | viii + 74 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Kemian tekniikan osasto |
Oppiaine: | Epäorgaaninen kemia (Kem-35) |
Valvoja: | Niinistö, Lauri |
Ohjaaja: | Härkönen, Kari ; Nieminen, Minna ; Putkonen, Matti |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305163098 |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark TKK 4001 | Arkisto |
Avainsanat: | vacuum line atomic layer deposition ALD processes |
Tiivistelmä (fin): | Tämän opinnäytteen kirjallisuusosassa esitellään atomikerroskasvatusmenetelmän (ALD) periaatteet ja erityyppiset reaktorit sekä kloridi- syklopentadienyyli- ja amidilähdeaineisiin perustuvien ALD-prosessien tyypilliset piirteet. ALD-reaktorin pumppauslinjassa esiintyvien lähtöaineiden ja reaktiotuotteiden ominaisuuksia tarkastellaan terveysvaikutusten ja myrkyllisyyden sekä laitteistolle aiheutuvien vaikutusten näkökulmasta. Kokeellisessa osassa tarkastellaan atomikerroskasvatuksen kloridilähdeaineista suoritettavien ALD-kasvatusten pintareaktioissa syntyvän HCl-kaasun neutralointia alipaineessa ALD-reaktorin pumppauslinjassa. HCl-pitoisen kaasuvirran käsittelyssä tutkittiin neljää kiinteää, rakeista ja emäksistä absorbenttia - CaCO3:a, CaO:a, NaOH:a ja NaOH:11a kyllästettyä aktiivihiiltä - sekä käsittelemätöntä aktiivihiiltä, jonka toiminta perustuu fysikaaliseen adsorptioon. Kokeet suoritettiin kahdessa osassa: Aluksi materiaalit tutkittiin pienessä ALD-reaktorin pumppauslinjan olosuhteita jäljittelevässä laitteessa sekä myöhemmin suuremmassa koelaitteessa, joka oli liitetty ALD-reaktoriin. HCl-pitoinen poistokaasuvirta tuotettiin runsaasti HC1:a tuottavan ALD-reaktion avulla. Absorbenttimateriaalien tehokkuus määritettiin absorbenttien massanmuutosten sekä kloridi-ionin potetiometristen titrausten perusteella. Pienessä koelaitteessa suoritettujen kokeiden perusteella voitiin verrata valittujen materiaalien suorituskykyä NaOH:a lukuunottamatta, sillä NaOH-rakeet vettyivät. CaCO3 kykeni neutraloimaan suurimman osan laitteeseen syötetystä HC1:sta, kun taas CaO:n toimintakyky kesti pisimmän ajan. Myös CaO:n kyky käsitellä HCl-kaasua absorbenttimateriaalin massa- tai tilavuusyksikköä kohti oli paras. NaOH-impregnoidun aktiivihiilen käytettävissä oleva reaktiivinen ainemäärä reagoi kaikista täydellisimmin. Käsittelemättömän aktiivihiilen suorituskyky oli kaikilta osin vaatimattomin. Tutkittujen neutralointimateriaalien nähtiin reagoivan tyydyttävästi HC1:n kanssa pienessä koelaitteessa suoritetuissa kokeissa, mutta suuremmassa pilot-mittakaavan laitteessa reaktiivisuus oli hyvin vähäistä. Tämä voi johtua pienen ja pilot-mittakaavan laitteen erilaisista virtausnopeuksista ja kaasuvirran kosteuspitoisuuksista sekä toisistaan poikkeavien laiterakenteiden aiheuttamista eroista kiinteän- ja kaasufaasin vuorovaikutuksissa. |
ED: | 2005-09-26 |
INSSI tietueen numero: 29150
+ lisää koriin
INSSI