haku: @keyword deep reactive ion etching / yhteensä: 3
viitteet: 2-3 / 3
« edellinen sivu | seuraava sivu »
 otsikkovuositekijä
2.
Buried channel technology for chemical microsystems
2010 Shah, Syed Ali Raza
3.
Deep Reactive Ion Etching for Microfluidic Structures
2006 Sainiemi, Lauri
« edellinen sivu | seuraava sivu »
INSSI