open access
Inssi
In English
session »
kirjaudu ulos
learningcentre.aalto.fi
/
OA tietokannat
/
Inssi
/ hakutulokset
Inssi haku
valintakori
0
Tietokannat
Helecon
FINP
THES
SCIMA
CLASSIC
SCANP
Asiasanasto
Tenttu
Inssi
Tali
Rescat
TkkJulkaisee
TkkToimii
TkkTutkii
haku: @keyword planarisointi / yhteensä: 2
viitteet: 2-2 / 2
«
edellinen sivu
|
seuraava sivu
»
otsikko
vuosi
tekijä
2.
Fixed Abrasive Chemical Mechanical Planarization Process Development for MEMS-Applications
2009
Lyytinen, Jussi
«
edellinen sivu
|
seuraava sivu
»
INSSI