open access
Inssi
In English
session: -
learningcentre.aalto.fi
/
OA tietokannat
/
Inssi
/ hakutulokset
Inssi haku
Tietokannat
Helecon
FINP
THES
SCIMA
CLASSIC
SCANP
Asiasanasto
Tenttu
Inssi
Tali
Rescat
TkkJulkaisee
TkkToimii
TkkTutkii
haku: @keyword kryo-DRIE / yhteensä: 1
viitteet: 1-1 / 1
«
edellinen sivu
|
seuraava sivu
»
otsikko
vuosi
tekijä
1.
Kohdistetun ionisuihkun ja kryogeenisen reaktiivisen ionisyväetsauksen yhdistelmäprosessin karakterisointi
2009
Iltanen, Kari
«
edellinen sivu
|
seuraava sivu
»
INSSI
