Inssi

Helecon

Tenttu

haku: @keyword microelectromechanical systems / yhteensä: 3

viitteet: 1-3 / 3

« edellinen sivu | seuraava sivu »

	otsikko	vuosi	tekijä
1.	Vertical Piezoelectric Structures for in-plane Actuation in MEMS Sensors	2015	Österlund, Elmeri
2.	Fixed Abrasive Chemical Mechanical Planarization Process Development for MEMS-Applications	2009	Lyytinen, Jussi
3.	Reconfigurable MEMS-based high-impedance surface for millimetre and submillimetre wave applications	2005	Chicherin, Dmitry

« edellinen sivu | seuraava sivu »

INSSI