haku: @keyword sähköinen viivanleveysmittaus / yhteensä: 1
viite: 1 / 1
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Pirilä, Nina |
Työn nimi: | Molybdeenin plasmaetsausprosessin karakterisointi submikronitekniikassa |
Characterisation of molybdenum plasmaetch process in submicron technique | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 1997 |
Sivut: | vi + 80 s. + liitt. 3 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Materiaali- ja kalliotekniikan osasto |
Oppiaine: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Valvoja: | Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Franssila, Sami |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark V80 | Arkisto |
Avainsanat: | etch etch rate linewidth uniformity selectivity loading effect orthogonal array electrical linewidth measurement molybdenum etsaus etsausnopeus viivanleveys tasaisuus selektiivisyys kuormitusefekti ortogonaalimatriisi sähköinen viivanleveysmittaus molybdeeni |
ED: | 1998-08-03 |
INSSI tietueen numero: 13457
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI