haku: @author Kaasalainen, Jussi / yhteensä: 1
viite: 1 / 1
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Kaasalainen, Jussi |
Työn nimi: | Mikromekaanisen kapasitiivisen anturin suorakaideaaltoherätteeseen perustuva tasajännitenormaali ja mittausjärjestelmä |
DC voltage standard and measurement system based on square wave escitation of a micromechanical capacitive sensor | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2008 |
Sivut: | (9) + 53 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Sinkkonen, Juha |
Ohjaaja: | Manninen, Antti |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | metrology voltage standard MEMS accelerometer PI control metrologia jännitenormaali MEMS kiihtyvyysanturi PI-säätö |
Tiivistelmä (fin): | Jännitemetrologiassa on tarvetta tasajännitenormaalille, jonka tarkkuus ja kohinaominaisuudet ovat paremmat kuin nyt käytössä olevilla korkealuokkaisilla zenerdiodeilla ja valmistus- ja käyttökustannukset toisaalta olennaisesti pienemmät kuin Josephson-liitossarjoihin perustuvilla laitteistoilla, jotka ovat tarkimpia tunnettuja jännitenormaaleita. Myös kaupallisissa sovelluksissa sekä teollisuuden käyttämissä elektronisissa laitteissa on esiintynyt tarvetta tarkemmille ja edullisille referenssijännitteille. Mikroelektromekaanisen (MEMS) tasokondensaattorin eräs ominaisuus on se, että sen kapasitanssi riippuu kondensaattorin liikkuvan ja liikkumattoman levyn välisestä jännitteestä. Näihin MEMS-tasokondensaattorin karakteristisiin ominaisuuksiin perustuvalla jännitenormaalilla on potentiaalisesti mahdollista saavuttaa zenerdiodeita parempi tarkkuus. Tulevaisuudessa valmiin jännitenormaalilaitteiston käytettävyys ja sovellukseen implementointi ovat yhtä yksinkertaista kuin zenerdiodeilla, laitteiston hinta ja koko ovat kuitenkin todennäköisesti pienemmät. Tässä työssä tutkittiin MEMS-kondensaattorin suorakaideaaltomuotoiseen vaihtojänniteherätteeseen perustuvan tasajännitenormaalin pitkän aikavälin stabiilisuutta. Vaihtojännitteen käytöllä pyrittiin estämään MEMS-kondensaattorin rajapinnoissa ja oksidikerroksissa tyypillisesti esiintyvien hitaiden varautumisilmiöiden haitallista vaikutusta. Teoriaosassa on esitetty olennaisimmat MEMS-kondensaattorin ominaisuudet sekä jännitenormaalin toteuttavan laitteiston toimintaperiaate. Jännitenormaalin stabiilisuuden tutkimiseksi konstruoitiin takaisinkytkentään ja PI-säätöön perustuva elektroniikka ja tietokoneohjelmisto sekä mittauslaitteisto. MEMS-kondensaattorina käytettiin tavanomaista kapasitiivista kiihtyvyysanturia. |
ED: | 2008-07-29 |
INSSI tietueen numero: 35915
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI