haku: @keyword tyhjiölaitteisto / yhteensä: 1
viite: 1 / 1
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Kangas, Lauri K. |
Työn nimi: | Tyhjiölaitteiston suunnittelu ja toteutus MEMS-resonaattoreiden interferometriseen kuvantamiseen |
Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
Julkaisuvuosi: | 2008 |
Sivut: | 27 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Informaatio- ja luonnontieteiden tiedekunta |
Koulutusohjelma: | Teknillisen fysiikan ja matematiikan tutkinto-ohjelma |
Oppiaine: | Teknillinen fysiikka (F3005) |
Valvoja: | Kaivola, Matti |
Ohjaaja: | Kokkonen, Kimmo |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305165898 |
Sijainti: | |
Avainsanat: | tyhjiölaitteisto MEMS resonaattori laser interferometri |
ED: | 2008-08-27 |
INSSI tietueen numero: 36145
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI