haku: @keyword HiPIMS / yhteensä: 1
viite: 1 / 1
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Myllynen, Antti |
Työn nimi: | Oksidiohutkalvojen valmistus FCVAD- ja HiPIMS-menetelmillä sekä niihin liittyvät ongelmat |
Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
Julkaisuvuosi: | 2015 |
Sivut: | 22 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Kemian tekniikan korkeakoulu |
Koulutusohjelma: | Materiaalitekniikan koulutusohjelma |
Oppiaine: | Soveltava materiaalitiede (MT3001) |
Valvoja: | Forsén, Olof |
Ohjaaja: | Korhonen, Antti |
Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201506303289 |
Sijainti: | |
Avainsanat: | oksidiohutkalvo HiPIMS FCVAD PVD alumiinioksidi titaanioksidi |
ED: | 2015-08-16 |
INSSI tietueen numero: 51684
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI