haku: @keyword told / yhteensä: 1
viite: 1 / 1
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Karilahti, Mika |
Työn nimi: | Software Module for Laser Lithography |
Programmodul för en laser-baserad maskexponerande maskin | |
Laseriin perustuvan maskinvalotuslaitteen ohjelmamoduli | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 1993 |
Sivut: | 95 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan osasto |
Oppiaine: | Fysiikka (Tfy-3) |
Valvoja: | Tuomi, Turkka |
Ohjaaja: | Laiholuoto, Kari |
Digitoitu julkaisu: | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/81847 |
OEVS: | Digitoitu arkistokappale on julkaistu Aaltodocissa
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | interpreter computer graphics mask / reticle laser litography tulkki tietokone grafiikka maski laser litografia told dator grafik mask laser litografi |
ED: | 1994-04-29 |
INSSI tietueen numero: 8664
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI