haku: @keyword piikiekko / yhteensä: 10
hakutulos-lista
viite: 9 / 10
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Vehmas, Tapani
Työn nimi:Particles on Polished Silicon Wafers
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:1999
Sivut:59      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Eränen, Simo
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Avainsanat:silicon wafers
particle contamination
piikiekko
SCI
partikkalikontaminaatio
Tiivistelmä (fin):Tämän työn ensimmäisessä osassa tarkastellaan partikkelikontaminaatiota aiheuttavia ilmiöitä ja pesussa vaikuttavia mekanismeja.
Gravitaatio, diffuusio, elektroforeesi ja termoforeesi aiheuttavat kontaminaatiota kaasumaisessa prosessointiympäristössä.
Nestemäisessä väliaineessa sekä partikkelin että piikiekon pinta varautuvat sähköisesti.

Mikäli partikkelin ja kiekon saama varaus on samanmerkkinen, vaikuttaa näiden välillä repulsiovoima joka estää partikkelin kiinnittymisen piikiekon pintaan.

Työn toisessa osassa on tutkittu SC1:n (Standard Clean 1) tehokkuutta kemikaalikonsentraation ja pesulämpötilan funktiona.
Pesutehokkuus ei välttämättä laske pesulämpötilan alentuessa tai ammoniumhydroksidipitoisuuden laskiessa.
Tässä kokeessa partikkelien alkuperä vaikutti voimakkaasti pesutehokkuuteen.
Muutokset ammoniumhydroksidipitoisuudessa tai pesulämpötilassa eivät vaikuttaneet kiekkojen pinnankarkeuteen.
Raudan (Fe) ja sinkin (Zn) määrä kiekon pinnalla sensijaan riippui voimakkaasti käytetystä lämpötilasta ja konsentraatiosta.

Työn viimeisessä osassa esitetään menetelmä, jonka avulla voidaan analysoida kiiloitetun piikiekon pinnalla olevia partikkeleita.
Partikkeli paikannetaan ensin skannerilla jonka jälkeen kiekko siirretään elektronimikroskooppiin.
Skannerin antamia koordinaatteja käyttäen partikkeli voidaan löytää kiekolta elektronimikroskoopilla.
Kiekolle kuvioidut merkit vähentävät etsimiseen tarvittavaa aikaa.
ED:1999-12-20
INSSI tietueen numero: 14995
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI