haku: @keyword polymeerit / yhteensä: 10
viite: 8 / 10
Tekijä: | Ristolainen, Tero |
Työn nimi: | SU-8 Photoresist as a Material for Microfludics with Integrated Electrodes |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2004 |
Sivut: | 67 Kieli: eng |
Koulu/Laitos/Osasto: | Materiaali- ja kalliotekniikan osasto |
Oppiaine: | Metalli- ja materiaalioppi (Mak-45) |
Valvoja: | Lehto, Ari |
Ohjaaja: | Franssila, Sami ; Tuomikoski, Santeri |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark V80 | Arkisto |
Avainsanat: | physical vapor deposition metals polymers adhesion microfluidics and isotachophoresis fysikaalinen kaasufaasipinnoitus metallit polymeerit adheesio mikrofuidistiikka ja isotakoforeesi |
Tiivistelmä (fin): | Tämän diplomityön tavoitteena on tutkia epoksipolymeeripohjaisen resistin SU-8:n ja metallien välistä adheesiota. Työn teoriaosuus jakautuu kolmeen osa-alueeseen. Ensimmäisessä osassa käydään läpi fysikaalisen kaasufaasipinnoituksen perusmuodot sekä perehdytään niiden ominaisuuksiin. Kirjallisuuden toisessa osassa esitellään mikromekaniikassa käytettyjä valmistusmenetelmiä sekä SU-8 resistin ominaisuuksia. Teorian kolmannessa osassa perehdytään polymeerin ja metallin väliseen vuorovaikutukseen sekä niiden kiinnipysyvyyteen. Platina soveltuu mikrofluidistisiin kohteisiin, joten sen kuvioitavuus- ja resistanssi paksuuden funktiona määriteltiin. Metallien adheesiotutkimukset suoritettiin teippitestillä. Työn sovelluskohteena oli suunnitella ja valmistaa komponentti isotakoforeesiin. Komponentti koostui mikrofluidistisista kanavista, jotka valmistettiin SU-8:sta ja sisäänrakennetusta platinaelektrodista. SU-8:n tarkoitus oli toimia mikrofluidistisen kanavan kattona, seininä ja lattiana. |
Tiivistelmä (eng): | The aim of this diploma thesis was to study epoxy-based resist SU-8 and metal adhesion. Theoretical part of this thesis is divided into three parts. In the first part, basic methods of physical vapour deposition are presented and the main properties are described. In the second part, fabrication methods for micromachining are introduced and the properties of SU-8 resist are reviewed. In the third part interactions between polymers and metals are reviewed and the adhesion mechanisms are discussed. Platinum was chosen for the metal used for electrodes in the detector, therefore processing condition for platinum deposition and patterning was developed. Adhesion tests for metals were done with tape test. Application area of this thesis was to design and fabricate a device for isotachophoresis. The device consists of channels made out of SU-8 and integrated platinum electrodes. The component has all four micro channel walls covered with SU-8. |
ED: | 2004-11-04 |
INSSI tietueen numero: 26449
+ lisää koriin
INSSI