haku: @keyword polymeerit / yhteensä: 10
viite: 8 / 10
Tekijä:Ristolainen, Tero
Työn nimi:SU-8 Photoresist as a Material for Microfludics with Integrated Electrodes
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2004
Sivut:67      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Oppiaine:Metalli- ja materiaalioppi   (Mak-45)
Valvoja:Lehto, Ari
Ohjaaja:Franssila, Sami ; Tuomikoski, Santeri
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Avainsanat:physical vapor deposition
metals
polymers
adhesion
microfluidics and isotachophoresis
fysikaalinen kaasufaasipinnoitus
metallit
polymeerit
adheesio
mikrofuidistiikka ja isotakoforeesi
Tiivistelmä (fin): Tämän diplomityön tavoitteena on tutkia epoksipolymeeripohjaisen resistin SU-8:n ja metallien välistä adheesiota.
Työn teoriaosuus jakautuu kolmeen osa-alueeseen.
Ensimmäisessä osassa käydään läpi fysikaalisen kaasufaasipinnoituksen perusmuodot sekä perehdytään niiden ominaisuuksiin.
Kirjallisuuden toisessa osassa esitellään mikromekaniikassa käytettyjä valmistusmenetelmiä sekä SU-8 resistin ominaisuuksia.
Teorian kolmannessa osassa perehdytään polymeerin ja metallin väliseen vuorovaikutukseen sekä niiden kiinnipysyvyyteen.

Platina soveltuu mikrofluidistisiin kohteisiin, joten sen kuvioitavuus- ja resistanssi paksuuden funktiona määriteltiin.
Metallien adheesiotutkimukset suoritettiin teippitestillä.
Työn sovelluskohteena oli suunnitella ja valmistaa komponentti isotakoforeesiin.
Komponentti koostui mikrofluidistisista kanavista, jotka valmistettiin SU-8:sta ja sisäänrakennetusta platinaelektrodista.
SU-8:n tarkoitus oli toimia mikrofluidistisen kanavan kattona, seininä ja lattiana.
Tiivistelmä (eng): The aim of this diploma thesis was to study epoxy-based resist SU-8 and metal adhesion.
Theoretical part of this thesis is divided into three parts.
In the first part, basic methods of physical vapour deposition are presented and the main properties are described.
In the second part, fabrication methods for micromachining are introduced and the properties of SU-8 resist are reviewed.
In the third part interactions between polymers and metals are reviewed and the adhesion mechanisms are discussed.

Platinum was chosen for the metal used for electrodes in the detector, therefore processing condition for platinum deposition and patterning was developed.
Adhesion tests for metals were done with tape test.
Application area of this thesis was to design and fabricate a device for isotachophoresis.
The device consists of channels made out of SU-8 and integrated platinum electrodes.
The component has all four micro channel walls covered with SU-8.
ED:2004-11-04
INSSI tietueen numero: 26449
+ lisää koriin
INSSI