haku: @keyword oscillator / yhteensä: 11
hakutulos-lista
viite: 10 / 11
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Nera, Kaisa
Työn nimi:Mikromekaanisen suurihyvyyslukuisen piioskillaattorin prosessointi ja mittaaminen
Fabrication and characterisation of a high-Q micromechanical silicon oscillator
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2000
Sivut:iv + 71 s. + liitt. 8      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Mittaustekniikka   (S-108)
Valvoja:Tittonen, Ilkka
Ohjaaja:Lahti, Kristian
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:micromechanics
oscillator
Q-factor
mikromekaniikka
oskillaattori
Q-arvo
Tiivistelmä (fin):Työn tavoitteena oli valmistaa ja karakterisoida mikromekaaninen oskillaattori, jolla olisi mahdollisimman suuri hyvyysluku eli Q-arvo.
Korkea Q-arvo mahdollistaa erittäin herkkien mekaanisten värähtelijöiden käytön mm. fysiikan perustutkimuksessa ja useissa anturisovelluksissa.
Suuren hyvyysluvun edellytyksenä on oskillaattorin energiahäviöiden minimoiminen.
Häviöiden suuruuteen voidaan vaikuttaa mm. materiaalin valinnalla ja rakenteen suunnittelulla.

Oskillaattorit valmistettiin TKK:n Mikroelektroniikkakeskuksen puhdastilassa.
Materiaaliksi valittiin yksikiteinen pii sen erinomaisten elastisten ominaisuuksien sekä puhdastilassa käytössä olevien valmistusmenetelmien vuoksi.
Valmistusprosessia pyrittiin kehittämään helposti toistettavaksi.
Suurin huomio kiinnitettiin anisotrooppisen märkäetsausprosessin kehittämiseen.

Valmistetut oskillaattorit perustuivat torsionaalisesti värähtelevään tasapainotettuun perusrakenteeseen johtuen kirjallisuudessa raportoiduista hyvistä tuloksista vastaavanlaisten rakenteiden mittauksista.
Tunnettuja konstruktioita pyrittiin pienentämään ja muuttamaan siten, että värähtelyenergian siirtyminen aktiiviselta alueelta ympäröivään kehysrakenteeseen vähenisi entisestään.
Oskillaattorien karakterisointiin käytettiin optisia mittausmenetelmiä, jotka eivät itsessään häiritse oskillaattorien liikettä, eivätkä vaadi ylimääräisten mittauselektrodien tms. integrointia oskillaattorien yhteyteen.

Työn tuloksena onnistuttiin valmistamaan ja karakterisoimaan piioskillaattoreita, joiden mekaanisen resonanssin Q-arvo taajuudella 80 kHz oli n. 1,2 miljoonaa tyhjiössä ja huoneen lämpötilassa.
Taajuusyksiköissä vastaava resonanssin leveys oli 70 mHz, jota voidaan pitää kansainvälisesti varsin hyvänä arvona mikromekaanisille rakenteille.
Mittauksia suoritettiin varioimalla ulkoista painetta, lämpötilaa ja kiinnitystapaa, joista erityisesti paineen vaikutus voitiin systemaattisesti selittää, mutta erilaisilla oskillaattorin kiinnitystavoilla havaittiin olevan ennalta arvioitua huomattavasti suurempi merkitys lopulliseen kokonaishyvyyslukuun.
ED:2000-10-31
INSSI tietueen numero: 15900
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI