haku: @keyword typpi / yhteensä: 15
viite: 7 / 15
| Tekijä: | Väkevä, Minna |
| Työn nimi: | Uudet typpeä sisältävät lähdeaineet ohutkalvojen atomikerroskasvatuksessa |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2008 |
| Sivut: | 16 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Kemian ja materiaalitieteiden tiedekunta |
| Koulutusohjelma: | Kemian tekniikan tutkinto-ohjelma |
| Oppiaine: | Kemia (KE3001) |
| Valvoja: | Nordström, Katrina |
| Ohjaaja: | Myllymäki, Pia |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201303141731 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | ALD typpi lähdeaine |
| ED: | 2008-08-27 |
INSSI tietueen numero: 36167
+ lisää koriin
INSSI