haku: @keyword micromechanics / yhteensä: 16
viite: 8 / 16
Tekijä: | Pietikäinen, Sami |
Työn nimi: | Kapasitiivisen mikroanturin lämpötilariippuvuuden minimointi |
Minimization of the capacitance temperature dependency in a micromechanical sensor | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2002 |
Sivut: | 68 s. + liitt. Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Konetekniikan osasto |
Oppiaine: | Lujuusoppi (Kul-49) |
Valvoja: | Määttänen, Mauri |
Ohjaaja: | Lahdenperä, Juha ; Santaoja, Kari |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark TKK 5599 | Arkisto |
Avainsanat: | micromechanics temperature dependency silicon-glass seals FEM mikromekaniikka lämpötilariippuvuus pii-lasi-liitos |
Tiivistelmä (fin): | Tässä opinnäytetyössä pyritään parantamaan kapasitiiviseen mittaustekniikkaan perustuvan kiihtyvyysanturin suorituskykyä minimoimalla aktiivikapasitanssin suhteellinen lämpötilariippuvuus. Lämpötilan muuttuessa rakenteessa tapahtuu materiaalien pituuden lämpötilakertoimien eroista johtuvia muodonmuutoksia, joita pyritään hallitsemaan lasikerroksen rakenteellisilla muutoksilla. Lasikerroksen vaikutusta kiihtyvyysanturin termomekaaniseen käyttäytymiseen pyritään selvittämään teoreettisen tarkastelun lisäksi simuloimalla sekä kokeellisten testien avulla. Mallinnusosuudessa pyritään selvittämään porraslasirakenteen lasikerrospaksuuksien optimaalisia arvoja aktiivikapasitanssin lämpötilariippuvuuden minimoimiseksi. Kokeellisessa osuudessa vertaillaan perinteisiä anturirakenteita näytteisiin, jotka on valmistettu uudella porraslasitekniikalla. Kokeellisessa osuudessa antureiden suorituskykyä mitataan myös niiltä osin, mitä ei simuloinneissa ollut mahdollista toteuttaa. Vertailemalla kokeellisia ja simuloitujen mallien antamia tuloksia keskenään pyritään verifioimaan elementtimenetelmän käytettävyyttä MEMS-rakenteiden simuloinneissa tulevien tuotekehityshankkeiden edistämiseksi. Tulokset porraslasirakenteen käyttäytymisestä sekä simuloinnin että kokeellisen työn perusteella olivat erittäin rohkaisevia. Tietyillä rakenteilla saavutetaan aktiivikapasitanssin osalta jopa negatiivinen lämpötilariippuvuus, joten riippuvuuden säätäminen nollaan on myös mahdollista. Rakennemuutoksen tuotannollisia vaatimuksia ei vielä tunneta, mutta tiedetään että kiihtyvyysanturin porraslasirakenne on perinteistä rakennetta herkempi epäsymmetrialle. Valmistustoleranssien selvittäminen vaatii laajempaa kokeellista osuutta eli uusien näytteiden valmistamista ja testaamista. |
ED: | 2002-05-21 |
INSSI tietueen numero: 18566
+ lisää koriin
INSSI