haku: @supervisor Niinistö, Lauri / yhteensä: 162
hakutulos-lista
viite: 24 / 162
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Kostamo, Juhana
Työn nimi:CuS:lla päällystetyn huokoisen piin valmistus sensorisovelluksia varten
Preparation of porous silicon plated with CuS for sensor applications
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2000
Sivut:110      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Kemian tekniikan osasto
Oppiaine:Epäorgaaninen kemia   (Kem-35)
Valvoja:Niinistö, Lauri ; Karppinen, Maarit
Ohjaaja:Johansson, Johanna
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TKK  4522   | Arkisto
Tiivistelmä (fin):Työn kirjallisuusosan alussa tarkastellaan huokoisen piin valmistusta, rakennetta, stabilointia ja päällystystä.
Erityisesti on selvitetty anodisointiparametrien vaikutusta huokoisen piin rakenteeseen.
Päällystysmenetelmien osalta keskitytään ALE-menetelmään.
Kirjallisuusosan lopussa kerrotaan yleisimmistä kaasusensorityypeistä ja huokoiselle piille valmistetuista kaasusensoreista.
Lisäksi luodaan Iyhyt katsaus kaasusensorien testauslaitteistoihin.

Kokeellisessa osassa optimoitiin ensin CuS:n ALE-kasvatusprosessi litteille pii- ja lasisubstraateille.
Ohutkalvomateriaaliksi valittiin CuS, koska sen ominaisvastuksen on havaittu muuttuvan herkästi monien kaasujen, etenkin ammoniakin vaikutuksesta.
Kasvatuksissa käytettiin lähdeaineina kupari(II)-2,2,6,6-tetrametyyli-3,5-heptaanidionaattia ja divetysulfidia.
Kasvatukset suoritettiin lämpötilavälillä 125-250 °C.
ALE-ikkuna sijaitsi piisubstraateilla alueella 125-140 °C ja lasisubstraateilla alueella 125-150 °C.
Kasvunopeus oli molemmissa tapauksissa noin 0,30 Å/jakso.
Kalvot olivat monikiteisiä ja konformaalisia eivätkä sisältäneet mainittavia määriä epäpuhtauksia.
Kalvojen ominaisvastus oli noin 1*10[-4] omegacm.

Kokeellisen osan loppuvaiheessa rakennettiin huokoisen piin anodisointilaitteistolle HF-höyryjen puhdistusjärjestelmä ja valmistettiin p[+]-tyypin huokoista piitä sensorien substraattimateriaaliksi.
Tämän jälkeen valmistettiin optimoituja ALE-kasvatusparametreja käyttäen sarja CuS-sensoreita huokoiselle piille.
ED:2001-01-02
INSSI tietueen numero: 16093
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI