haku: @keyword resonator / yhteensä: 17
viite: 12 / 17
| Tekijä: | Koskenvuori, Mika |
| Työn nimi: | Mekaanisen resonaattorin toteuttaminen MHz-alueelle SOI-teknologialla |
| Realization of a mechanical resonator in the MHz-range using SOI-technology | |
| Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
| Julkaisuvuosi: | 2002 |
| Sivut: | 73 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
| Oppiaine: | Mittaustekniikka (S-108) |
| Valvoja: | Tittonen, Ilkka |
| Ohjaaja: | Mattila, Tomi ; Oja, Aarne |
| Digitoitu julkaisu: | https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/89612 |
| OEVS: | Digitoitu arkistokappale on julkaistu Aaltodocissa
|
| Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
| Avainsanat: | micromechanics resonator SOI bias-voltage RF-MEMS mikromekaniikka resonaattori SOI bias-jännite RF-MEMS |
| ED: | 2002-03-20 |
INSSI tietueen numero: 18386
+ lisää koriin
INSSI