haku: @keyword huokoisuus / yhteensä: 17
hakutulos-lista
viite: 11 / 17
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Rissanen, Anna
Työn nimi:Porous silica in micromechanical applications
Huokoinen lasi mikromekaanisissa sovelluksissa
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2003
Sivut:77      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Mittaustekniikka   (S-108)
Valvoja:Tittonen, Ilkka
Ohjaaja:Blomberg, Martti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:Sol-gel technology
aerogel
xerogel
porosity
supercritical drying
spinning
thin film characterization
refractive index measurements
Sol-gel -tekniikka
aerogeeli
xerogeeli
huokoisuus
superkriittinen kuivaus
spinnaus
ohutkalvon karakterisointi
taitekerroinmittaukset
Tiivistelmä (fin):Aero- ja xerogeelit ovat nanohuokoisia materiaaleja, jotka tehdään sol-gel -tekniikalla.
Korkean huokoisuuden takia niillä on monia ainutkertaisia fysikaalisia, termisiä, sähköisiä ja mekaanisia ominaisuuksia.
Tämän työn tarkoitus oli kehittää puhdastilaan soveltuva sol-gel -prosessi ja saada aikaan kalvoja joiden huokoisuus on 60:n ja 80:n prosentin välillä.

Työssä käytettiin useita reseptejä sekä prosessimodifikaatioita.
Haluttuun tulokseen päästiin kaksivaiheisella happo-emäs sol-gel -prosessilla käyttäen tertiaarista butanolia liuottimena.
Ensimmäisessä hydrolyysivaiheessa soolin koostumus oli TEOS: TBA: H_(2)O: HCl= 1: 3 : 2 : 7.3e-4.
Toisessa vaiheessa sooliin lisättiin ammoniakkia kondensaatioreaktion katalysoimiseksi.
Liuos spinnattiin piialustoille liuottimella saturoidussa ilmatilassa.
Päällystämisen jälkeen kalvoja ikäännytettiin isopropanoli-ammoniakki -liuoksessa.
Liuotin vaihdettiin isopropanoliin ja poistettiin superkriittisellä kuivausmenetelmällä.

Kalvoja karakterisoitiin taitekerroinmittauksilla, pyyhkäisyelektronimikroskoopilla (SEM) sekä Rutherfordin takaisinsirontaspektrometrialla (RBS).
Aerogeelin kuviointia litografialla ja plasmaetsaamalla tutkittiin.
Lisäksi käsiteltiin kalvojen soveltamista puoliläpäisevänä etsausmaskina, vakojen täyttömateriaalina sekä soveltuvuutta nanokalorimetrisiin sovelluksiin ja kosteusantureihin.

Sol-gel -prosessin toistettavuus todettiin huonoksi.
Kalvojen demonstroitiin myös olevan hiukkaslähde, mikä tekee prosessista IC-yhteensopimattoman.
Kalvojen kuviointi on mahdollista, joskin se muuttaa kalvojen ominaisuuksia.
ED:2003-09-16
INSSI tietueen numero: 19971
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI