haku: @supervisor Airila, Mauri / yhteensä: 181
viite: 12 / 181
Tekijä: | Martikainen, Juhani |
Työn nimi: | Ohutkalvopaineanturin kehittäminen |
Development of a thin-film pressure sensor | |
Julkaisutyyppi: | Diplomityö |
Julkaisuvuosi: | 2005 |
Sivut: | 57 s. + liitt. 13 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Airila, Mauri ; Kuivalainen, Pekka |
Ohjaaja: | Valkonen, Antti |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | sliding bearing thickness of the film pressure on the film piezoresistive phenomenon thin-film sensor liukulaakeri kalvonpaksuus kalvonpaine pietsoresistiivinen ilmiö ohutkalvoanturi |
Tiivistelmä (fin): | Tämän työn tavoitteena oli pietsoresistiivisen ilmiön demonstrointi manganiininimisessä kuparipohjaisessa seoksessa. Ilmiötä tutkittiin sputteroimalla ohut manganiiniviiva erilaisille eristäville alustoille: epoksille, sooli-geelille, DLC:lle ja alumiinioksidille. Alumiinioksidilevyille sputteroiduista viivoista kaksi ensimmäistä olivat pinnoittamattomia ja viimeinen pinnoitettiin alumiinioksidilla käyttäen ALD-menetelmää. Manganiiniviivat testattiin kohdistamalla niihin mekaaninen voima ja kytkemällä ne Wheatstonen siltaan. Wheatstonen sillan napojen välistä jännite-eroa seuraamalla tutkittiin viivojen resistanssin muuttumista voiman funktiona. Epoksin päälle sputteroidusta viivasta ei saatu luettavia tuloksia. Sooli-geelin ja DLC:n päälle sputteroitujen viivojen havaittiin olevan oikosulussa teräksiseen alustaan. Alumiinioksidille sputteroiduista viivoista havaittiin selvä resistanssin muutos kohdistetun voiman funktiona. Etenkin ALD-menetelmällä pinnoitetusta viivasta saatiin terävä vaste voiman muutoksiin. Edellä esitetyn perusteella voitiin todeta, että pietsoresistiivinen ilmiö pystyttiin demonstroimaan, kun manganiiniviiva oli sputteroitu oikeanlaiselle alustalle; alumiinioksidille. Ilmiön demonstroinnin lisäksi voitiin myös todeta manganiinista valmistetun ohutkalvoanturin soveltuvuus korkeiden paineiden mittaamiseen. |
ED: | 2005-12-02 |
INSSI tietueen numero: 30048
+ lisää koriin
INSSI