haku: @supervisor Airila, Mauri / yhteensä: 181
viite: 12 / 181
Tekijä:Martikainen, Juhani
Työn nimi:Ohutkalvopaineanturin kehittäminen
Development of a thin-film pressure sensor
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2005
Sivut:57 s. + liitt. 13      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Airila, Mauri ; Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Valkonen, Antti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:sliding bearing
thickness of the film
pressure on the film
piezoresistive phenomenon
thin-film sensor
liukulaakeri
kalvonpaksuus
kalvonpaine
pietsoresistiivinen ilmiö
ohutkalvoanturi
Tiivistelmä (fin): Tämän työn tavoitteena oli pietsoresistiivisen ilmiön demonstrointi manganiininimisessä kuparipohjaisessa seoksessa.

Ilmiötä tutkittiin sputteroimalla ohut manganiiniviiva erilaisille eristäville alustoille: epoksille, sooli-geelille, DLC:lle ja alumiinioksidille.
Alumiinioksidilevyille sputteroiduista viivoista kaksi ensimmäistä olivat pinnoittamattomia ja viimeinen pinnoitettiin alumiinioksidilla käyttäen ALD-menetelmää.
Manganiiniviivat testattiin kohdistamalla niihin mekaaninen voima ja kytkemällä ne Wheatstonen siltaan.
Wheatstonen sillan napojen välistä jännite-eroa seuraamalla tutkittiin viivojen resistanssin muuttumista voiman funktiona.

Epoksin päälle sputteroidusta viivasta ei saatu luettavia tuloksia.
Sooli-geelin ja DLC:n päälle sputteroitujen viivojen havaittiin olevan oikosulussa teräksiseen alustaan.
Alumiinioksidille sputteroiduista viivoista havaittiin selvä resistanssin muutos kohdistetun voiman funktiona.
Etenkin ALD-menetelmällä pinnoitetusta viivasta saatiin terävä vaste voiman muutoksiin.

Edellä esitetyn perusteella voitiin todeta, että pietsoresistiivinen ilmiö pystyttiin demonstroimaan, kun manganiiniviiva oli sputteroitu oikeanlaiselle alustalle; alumiinioksidille.
Ilmiön demonstroinnin lisäksi voitiin myös todeta manganiinista valmistetun ohutkalvoanturin soveltuvuus korkeiden paineiden mittaamiseen.
ED:2005-12-02
INSSI tietueen numero: 30048
+ lisää koriin
INSSI