haku: @keyword atomikerroskasvatus / yhteensä: 19
viite: 10 / 19
Tekijä:Palmumäki, Pirkka-Ilari
Työn nimi:Atomikerroskasvatus
Julkaisutyyppi:Kandidaatintyö
Julkaisuvuosi:2014
Sivut:21      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkötekniikan korkeakoulu
Koulutusohjelma:Elektroniikan ja sähkötekniikan koulutusohjelma
Oppiaine:Sähkötekniikka   (S3026)
Valvoja:Turunen, Markus
Ohjaaja:Pyymaki Perros, Alexander
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201401091063
Sijainti:  
Avainsanat:atomikerroskasvatus
ald
peald
alumiinioksidi
ald-sovellukset
ED:2014-01-19
INSSI tietueen numero: 48374
+ lisää koriin
INSSI