haku: @keyword thin film characterization / yhteensä: 2
hakutulos-lista
viite: 2 / 2
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Pensala, Tuomas
Työn nimi:Picosecond Ultrasonic Characterization of Thin Films
Pulssilaserilla synnytettävään ultraääneen perustuva ohutkalvojen karakterisointilaitteisto
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2000
Sivut:53      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Teknillisen fysiikan ja matematiikan osasto
Oppiaine:Materiaalifysiikka   (Tfy-44)
Valvoja:Salomaa, Martti M.
Ohjaaja:
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TF80     | Arkisto
Avainsanat:picosecond ultrasonic measurement
thin film characterization
thickness measurement
sound velocity measurement
pulssilaser
ultraääni
ohutkalvo
paksuusmittaus
äänennopeus
Tiivistelmä (fin):Alle pikosekunnin mittaisella laserpulssilla voidaan synnyttää lyhyt ultraäänipulssi läpinäkymättömään ohutkalvoon.
Pulssin heijastukset näytteen sisäisistä kalvojen rajapinnoista voidaan detektoida aikaerotteisesti viivästämällä samasta lähteestä johdettua laserpulssia ja mittaamalla sen avulla aikariippuvia muutoksia pinnan heijastuskertoimessa tai pinnan liikettä.
Aikaresoluutio on alle pikosekunnin luokkaa.

Tekniikka on ainetta rikkomaton ja soveltuu läpinäkymättömiin kalvoihin tai rakenteisiin, joissa päällimmäinen kerros on läpinäkymätön ja joiden paksuus vaihtelee muutamasta nanometristä useisiin mikrometreihin.
Suoraviivaisimmat sovellukset ovat kalvon paksuuden tai äänennopeuden määritys.
Resoluutio paksuudessa on nanometriluokkaa.

Tässä työssä esitellään mittaustapahtuman fysiikka ja useita kirjallisuudessa esitettyjä menetelmän sovelluskohteita ja variaatioita.
Esitetään algoritmi, joka määrittää monikerroksisessa näytteessä syntyvien moninkertaisten kaikujen viiveet ja vaiheet periaatteessa mielivaltaisissa tapauksissa.
Laserpulssin synnyttämä aikariippuva lämpötilajakauma näytteessä lasketaan numeerisesti.
Signaalin ja kohinan käyttäytymistä systeemissä analysoidaan.

Työssä rakennettiin kokeellinen mittauslaitteisto.
Paksuus- ja äänennopeusmittaukset demonstroitiin laitteistolla käyttäen sekä pinnan heijastuskertoimen että liikkeen havaitsevaa mittausjärjestelyä ja tarkoitusta varten valmistettuja koenäytteitä.
Kaikujen viiveet määritetään mittausdatasta muutaman prosentin tarkkuudella.
Paksuuden ja äänen nopeuden määritykset viiveiden perusteella kärsivät äänennopeuden epävarmuudesta ohutkalvoissa ja tarkan paksuusrefererenssin puutteesta.

Esitetään suunnitelma parannetusta mittauslaitteistosta.
Parannetulla laitteistolla yhdessä tarkan paksuusmittausmenetelmän kanssa paksuus- ja äänennopeusmittauksissa tulisi yltää muutaman prosentin virhemarginaaliin.
ED:2001-01-15
INSSI tietueen numero: 16136
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI