haku: @keyword membranes / yhteensä: 2
hakutulos-lista
viite: 2 / 2
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Gao, Feng
Työn nimi:Silicon Etching in Inductively Coupled Plasma for MEMS Structures
Mikromekaanisten piirakenteiden induktiivisesti kytketty plasmaetsaus
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2006
Sivut:viii + 58      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Sähkö- ja tietoliikennetekniikan osasto
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Pekko, Panu
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark S80     | Arkisto
Avainsanat:ICP
DRIE
MEMS
HARS
deep silicon etching
plasma processing
Bosch process
comb structures
membranes
piin syväetsaus
plasmaprosessointi
Bosch-prosessi
kamparakenteet
membraanit
Tiivistelmä (fin): Tässä diplomityössä esitetään piin plasmaetsauksen periaatteet ja tekniikka.
Työssä tutkittiin etsaustulokseen vaikuttavia tekijöitä ja niiden keskinäistä riippuvuutta, kun tavoitteena on suuren aspektisuhteen mikromekaanisten (MEMS) rakenteiden etsaus.
Lisäksi esitellään plasmatekniikan perusteet, piimikromekaniikkaa, SOI (Silicon on Insulator) -tekniikkaa ja tyypillisiä MEMS-rakenteita.

Kokeellinen työ suoritettiin STS:n ICP (Inductively Coupled Plasma) -etsauslaitteistolla.
Tulokset koskevat etsausnopeutta, selektiivisyyttä, etsauksen tasaisuutta, saavutettavaa aspektisuhdetta ja etsattujen kuvioiden profiilia.
Tärkeimmät muuttujat olivat kelan RF (Radio Frequency) teho, biasteho ja sen taajuus, etsauskammion prosessipaine, kaasujen virtausnopeudet sekä lämpötila.
Työssä selvitettiin muuttujien vaikutus etsaustulokseen.

Erikoisrakenteita varten kehitettiin useita pulssitukseen perustuvia etsausreseptejä.
Reseptejä voidaan hyödyntää vakioresepteinä vastaaville rakenteille vastaavissa laitteistoissa.
ED:2006-12-20
INSSI tietueen numero: 32783
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI