haku: @keyword ellipsometria / yhteensä: 2
viite: 2 / 2
« edellinen | seuraava »
| Tekijä: | Pale, Ville |
| Työn nimi: | Atomikerroskasvatusmenetelmällä valmistettujen ohutkalvojen optiset ominaisuudet |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2008 |
| Sivut: | 5+24 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Oppiaine: | Sähköfysiikka (S3025) |
| Valvoja: | Heine, Pirjo |
| Ohjaaja: | Chekurov, Nikolai |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305166178 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | ALD atomikerroskasvatusmenetelmä ohutkalvo heijastus ellipsometria alumiinioksidi |
| ED: | 2009-03-25 |
INSSI tietueen numero: 36963
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI