haku: @keyword plasma etching / yhteensä: 2
viite: 2 / 2
« edellinen | seuraava »
Tekijä: | Sirén, Esko |
Työn nimi: | AlxGa1-xAs-HEMT:n Valmistus ja Karakterisointi |
Fabrication and Characterization of an AlxGa1-xAs-HEMT | |
Julkaisutyyppi: | Lisensiaatintutkimus |
Julkaisuvuosi: | 1994 |
Sivut: | 76 Kieli: fin |
Koulu/Laitos/Osasto: | Sähkötekniikan osasto |
Oppiaine: | Elektronifysiikka (S-69) |
Valvoja: | Sinkkonen, Juha |
Ohjaaja: | |
OEVS: | Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossaOppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa. Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/ Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.
Kirjautuminen asiakaskoneille
Opinnäytteen avaaminen
Opinnäytteen lukeminen
Opinnäytteen tulostus
|
Sijainti: | P1 Ark S80 | Arkisto |
Avainsanat: | GaAs AlxGa1-xAs HEMT MODFET TEGFET RIE dry etching plasma etching GaAs AlxGa1-xAs HEMT MODFET TEGFET RIE kuivaetsaus plasmaetsaus |
ED: | 1994-10-13 |
INSSI tietueen numero: 9678
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI