haku: @keyword plasma / yhteensä: 25
viite: 16 / 25
| Tekijä: | Ervasti, Samuli |
| Työn nimi: | Plasman käyttö atomikerroskasvatuksessa |
| Julkaisutyyppi: | Kandidaatintyö |
| Julkaisuvuosi: | 2008 |
| Sivut: | 17 + 4 Kieli: fin |
| Koulu/Laitos/Osasto: | Elektroniikan, tietoliikenteen ja automaation tiedekunta |
| Koulutusohjelma: | Elektroniikan ja sähkötekniikan tutkinto-ohjelma |
| Oppiaine: | Elektroniikka (S3027) |
| Valvoja: | Heine, Pirjo |
| Ohjaaja: | Bosund, Markus |
| Elektroninen julkaisu: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201305166173 |
| Sijainti: | |
| Avainsanat: | plasma atomikerroskasvatus ALD plasmakäyttöinen atomikerroskasvatus PEALD |
| ED: | 2009-03-25 |
INSSI tietueen numero: 36956
+ lisää koriin
INSSI