haku: @keyword ohutkalvo / yhteensä: 29
viite: 13 / 29
Tekijä:Rontu, Ville
Työn nimi:Titaaninitridiohutkalvojen sovellukset
Julkaisutyyppi:Kandidaatintyö
Julkaisuvuosi:2012
Sivut:23      Kieli:   fin
Koulu/Laitos/Osasto:Kemian tekniikan korkeakoulu
Koulutusohjelma:Materiaalitekniikan koulutusohjelma
Oppiaine:Materiaalien prosessointi   (MT3002)
Valvoja:Forsén, Olof
Ohjaaja:Korhonen, Antti
Elektroninen julkaisu: http://urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-201301311334
Sijainti:  
Avainsanat:Titaaninitridi
TiN
ohutkalvo
PVD
sovellus
ED:2013-05-22
INSSI tietueen numero: 46760
+ lisää koriin
INSSI