haku: @keyword fixed abrasive / yhteensä: 3
hakutulos-lista
viite: 3 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Luoto, Hannu
Työn nimi:Chemical-Mechanical Polishing of Epitaxially Grown Polysilicon for Micro-Mechanical Structures
Epitaksiaalisesti kasvatettujen monikiteisten piikalvojen kemiallismekaaninen kiillotus mikromekaanisten rakenteisiin
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2004
Sivut:88      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Oppiaine:Elektronifysiikka   (S-69)
Valvoja:Kuivalainen, Pekka
Ohjaaja:Kulawski, Martin
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark V80     | Arkisto
Avainsanat:chemical-mechanical polishing
CMP
polysilicon
Poly-Si
SOI
Fixed Abrasive
kemiallismekaaninen kiillotus
CMP
monikiteinen pii
Poly-Si
SOI
Fixed Abrasive
Tiivistelmä (fin):Tässä työssä esitellään kemiallismekaanisen kiillotuksen (CMP) teoria pääperiaatteiltaan sekä syvennytään monikiteisen piin kiillotukseen.
Työssä käsitellään kiillotukseen liittyviä mekaanisia ja kemiallisia näkökulmia.

Monikiteisen piin kiillotusta on tehty laajasti aikaisemminkin, mutta ei tämän työn vaatimusten velvoittamalla tavalla.
Aikaisempiin tutkimuksiin verrattuna poikkeavaa oli, että suuresta kiillotuksen poistosta huolimatta pinnankarheuden oli päädyttävä erittäin hyvälle tasolle.
Tämän tarkoituksena oli mahdollistaa uuden tyyppisen mikrosysteemisovelluksen valmistus käyttäen monikiteisestä piistä muodostuvan SOI-kerroksen anodista liittämistä.

Monikiteisen piin kiillotuksen suurimpana tehtävänä oli oikeiden kiillotusalustojen sekä kiillotusnesteiden löytäminen.
Prosessin kehitys keskittyi sittemmin prosessiparametrien optimointiin parhaiksi havaituilla alustoilla ja nesteillä.
Alustan ja nesteen valintakriteereinä olivat kyky saada pinnankarheus mahdollisimman alhaiseksi, kalvon poistonopeutta sekä kiekon tasaisuuden säilyminen prosessin aikana.
Mikäli piin raerajojen todettiin paljastuvan oli alusta tai neste sopimaton monikiteiselle piille.
Haitallisena pidettiin myös liian suuria jäännöspartikkelien määriä kiekolla.

Epitaksiaalisessa piin kasvatusprosessissa todettiin piin pinnalle muodostuvan piikkejä, jotka estäisivät anodisen liittämisen pieninäkin määrinä.
Kun perinteisillä kiillotusmenetelmillä ei näitä piikkejä pystytty poistamaan, prosessikehitykseen otettiin mukaan Fixed abrasive kiillotusmenetelmä, jossa varsinaista kiillotusnestettä ei käytetä.
Tämä menetelmä osoittautuikin erinomaiseksi sekä piikkien poistossa, että kiekon tasaisuuden ylläpitämisessä.

Kulutustarviketutkimus johti lopulta hyvän prosessin löytymiseen.
Tämän prosessin ensimmäisessä vaiheessa kiillotus suoritetaan käyttäen Fixed abrasive menetelmää, jota seuraa perinteinen kiillotus pehmeällä polyuretaanialustalla.
Kiillotusnesteenä toimii emäksinen neste, jonka kiillotuspartikkelit olivat pienimpiä kokeissa käytetyistä.
Sen kyky saavuttaa matalia pinnankarheuksia yhdessä pehmeän alustan kanssa todettiin erinomaiseksi.
Saavutetut pinnankarheuksien neliölliset keskiarvot olivat noin 8 Ångströmiä 20µm*20µm alalla.
ED:2004-04-16
INSSI tietueen numero: 25152
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI