haku: @author Hiltunen, Mikko / yhteensä: 3
hakutulos-lista
viite: 1 / 3
« edellinen | seuraava »
Tekijä:Hiltunen, Mikko
Työn nimi:Automatic identification of epitaxial defects
Epivirheiden automaattinen identifiointi
Julkaisutyyppi:Diplomityö
Julkaisuvuosi:2004
Sivut:107      Kieli:   eng
Koulu/Laitos/Osasto:Materiaali- ja kalliotekniikan osasto
Oppiaine:Elektroniikan valmistustekniikka   (S-113)
Valvoja:Kivilahti, Jorma
Ohjaaja:Airaksinen, Veli-Matti
OEVS:
Sähköinen arkistokappale on luettavissa Aalto Thesis Databasen kautta.
Ohje
sulje

Digitaalisten opinnäytteiden lukeminen Aalto-yliopiston Harald Herlin -oppimiskeskuksen suljetussa verkossa

Oppimiskeskuksen suljetussa verkossa voi lukea sellaisia digitaalisia ja digitoituja opinnäytteitä, joille ei ole saatu julkaisulupaa avoimessa verkossa.

Oppimiskeskuksen yhteystiedot ja aukioloajat: https://learningcentre.aalto.fi/fi/harald-herlin-oppimiskeskus/

Opinnäytteitä voi lukea Oppimiskeskuksen asiakaskoneilla, joita löytyy kaikista kerroksista.

Kirjautuminen asiakaskoneille

  • Aalto-yliopistolaiset kirjautuvat asiakaskoneille Aalto-tunnuksella ja salasanalla.
  • Muut asiakkaat kirjautuvat asiakaskoneille yhteistunnuksilla.

Opinnäytteen avaaminen

  • Asiakaskoneiden työpöydältä löytyy kuvake:

    Aalto Thesis Database

  • Kuvaketta klikkaamalla pääset hakemaan ja avaamaan etsimäsi opinnäytteen Aaltodoc-tietokannasta. Opinnäytetiedosto löytyy klikkaamalla viitetietojen OEV- tai OEVS-kentän linkkiä.

Opinnäytteen lukeminen

  • Opinnäytettä voi lukea asiakaskoneen ruudulta tai sen voi tulostaa paperille.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi tallentaa muistitikulle tai lähettää sähköpostilla.
  • Opinnäytetiedoston sisältöä ei voi kopioida.
  • Opinnäytetiedostoa ei voi muokata.

Opinnäytteen tulostus

  • Opinnäytteen voi tulostaa itselleen henkilökohtaiseen opiskelu- ja tutkimuskäyttöön.
  • Aalto-yliopiston opiskelijat ja henkilökunta voivat tulostaa mustavalkotulosteita Oppimiskeskuksen SecurePrint-laitteille, kun tietokoneelle kirjaudutaan omilla Aalto-tunnuksilla. Väritulostus on mahdollista asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Väritulostaminen on maksullista Aalto-yliopiston opiskelijoille ja henkilökunnalle.
  • Ulkopuoliset asiakkaat voivat tulostaa mustavalko- ja väritulosteita Oppimiskeskuksen asiakaspalvelupisteen tulostimelle u90203-psc3. Tulostaminen on maksullista.
Sijainti:P1 Ark TKK  94   | Arkisto
Avainsanat:epitaxial defect
surface inspection
defect classification
epivirhe
pinnantarkastus
virheiden luokittelu
Tiivistelmä (fin): Tässä työssä tutkittiin kahden automaattisen pinnantarkastuslaitteen (ADE CR-81q and Tencor SP-I) soveltuvuutta epitaksiaalisesti kasvatettujen kiekkojen virheiden analysointiin.
Kaikki defektit on luokiteltu.
Defektin koon ja muodon vaikutus signaalin muutokseen eri mittalaitteella tutkittiin.
Koska mittalaitteet ovat suunniteltu kiekon pinnalta tehtävää partikkelien mittausta varten, vaatii eri epidefektien onnistunut luokittelu suhteellisen ison työmäärän.

Optimoidut mittausparametrit ja reseptit määriteltiin seuraavien vaatimusten pohjalta: 1) Erottelukyky irtoavien partikkelien ja pysyvien epidefektien välillä 2) Epidefektien luokittelu perustuen niiden kokoon ja muotoon 3) Havaintojen ulkopuolelle jäävien epidefektien lukumäärän minimointi.
CR-81q näyttäisi olevan parempi mittalaite paksuille epikerroksille, kun vastaavasti Tencor SP-l toimii paremmin ohuilla epikerroksilla.

Kumpikaan mittalaite ei pysty 100 %:een partikkelin erottelukykyyn, mutta tulokset ovat kuitenkin täysin eri tasolla verrattuna yleensä käytettyyn visuaaliseen tarkastukseen.
Visuaalisen tarkastuksen korvaaminen automaattisella pinnantarkastuksella nostaa sekä laatua että saantoa.
Se mahdollistaa myös tilastollisen datankeruun eri defektien lukumääristä ja tiheyksistä.
Myöhemmässä vaiheessa se mahdollistaa myös defektien alkuperän jäljittämisen.
Pitkällä aikavälillä on optimoidulla pinnantarkastuksella suuri positiivinen vaikutus kustannuksiin.
Tiivistelmä (eng): The applicability of two automatic surface inspection equipment (ADE CR-81 q and Tencor SP-l) for the analysis of the epitaxial silicon wafers defects has been investigated.
All different epidefects are classified.
The dependence of the response from different laser scanning systems on defect size and morphology has been examined.
Because the equipment has been designed for particle detection, a substantial amount of work is required to get the classification to function properly with epiwafers.

The measurement parameters and recipes have been optimized based on following requirements; 1) The Ability to discriminate removable surface particles from permanent epidefects 2) The Classification of epidefects based on their size and appearance 3) The maximal detection rate for epitaxial defects.
Ade CR-8Iq seems to be the first choice for thicker epiwafers, while Tencor SP-I works better with thinner epi layers.
Neither of the equipment has 100% discrimination ability for particles but both are totally in a different category from the traditionally used visual inspection.

The replacement of visual inspection with automatic surface inspection will increase the quality and yield.
It also enables statistical data collection of different defect counts and densities.
In the end it enables to track the origins of the defects.
In the long term it has a large positive impact on costs.
ED:2004-11-05
INSSI tietueen numero: 26451
+ lisää koriin
« edellinen | seuraava »
INSSI